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유연한 절연성 기판 상에 제1 표면 리간드를 포함하는 금속 나노 입자를 코팅하여 감지부 영역 및 전극부 영역을 포함하는 금속 나노 입자 박막을 형성하는 단계;상기 금속 나노 입자 박막의 감지부 영역 상에 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴이 형성된 금속 나노 입자 박막을 제2 표면 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시키는 제1 치환 단계;상기 금속 나노 입자 박막의 감지부 영역 상에 형성된 상기 마스크 패턴을 제거하는 단계; 및상기 마스크 패턴이 제거된 상기 금속 나노 입자 박막을 상기 제2 표면 리간드가 분산된 리간드 치환 용액에 접촉시켜 감지부 및 전극부를 형성하는 제2 치환 단계;를 포함하고,상기 제2 표면 리간드는 상기 제1 표면 리간드 대비 리간드 길이가 짧은 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제1 표면 리간드 및 상기 제2 표면 리간드를 포함하는 금속 나노 입자로 이루어져 금속-절연체 전이(metal-insulating transition) 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 표면 리간드는 제1 유기 리간드를 포함하고,상기 제2 표면 리간드는 제2 유기 리간드 및 무기 리간드 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 유기 리간드는 8개 내지 18개의 탄소 사슬을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 유기 리간드는 트리옥틸포스핀(trioctylphosphine), 트리옥틸포스핀 산화물(trioctylphosphine oxide), 올레산(Oleic acid) 및 올레일아민(Oleylamine) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제2 유기 리간드는 1개 내지 3개의 탄소 사슬을 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 제2 유기 리간드는 3-메르캅토프로피온산(3-mercaptopropionic acid, MPA) 및 1,2-에테인다이티올(1,2-ethanedithiol, EDT) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 무기 리간드는 염화 암모늄(NH4Cl), 테트라-n-부틸 암모늄브로마이드(tetra-n-butyl ammonium bromide, TBAB), 및 티오시안산 암모늄(NH4SCN) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 감지부는 내부에 크랙(crack)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 치환 단계는,공정 시간이 25초 내지 45초인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 치환 단계는,공정 시간이 5초 내지 15초인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 전극부는 상기 제1 치환 단계 및 상기 제2 치환 단계에서 상기 금속 나노 입자의 제1 표면 리간드가 상기 제2 표면 리간드로 치환되고,상기 감지부는 상기 제2 치환 단계에서 상기 금속 나노 입자의 제1 표면 리간드가 부분적으로 제2 표면 리간드로 치환되는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 감지부에 포함되는 상기 제1 표면 리간드와 상기 제2 표면 리간드의 비는 33:67 내지 10:90인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 리간드 치환 용액의 농도는 1mM 내지 5mM인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 전극부 영역은 상기 감지부 영역의 일단에 형성된 제1 전극 영역 및 상기 감지부 영역의 타단에 형성된 제2 전극 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노 입자는 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 철(Fe) 및 팔라듐(Pd) 중 어느 하나로 이루어진 단일 나노 입자 또는 합금 나노 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서의 제조 방법
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유연한 절연성 기판;상기 유연한 절연성 기판 상에 형성되고, 제1 표면 리간드 및 제2 표면 리간드를 포함하는 금속 나노 입자로 이루어져 금속-절연체 전이(metal-insulating transition) 구조를 갖는 감지부; 및상기 감지부의 일단 및 타단에 형성되는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하되, 상기 제1 전극 및 제2 전극은 상기 제2 표면 리간드를 포함하는 금속 나노 입자로 이루어진 전극부를 포함하고,상기 제2 표면 리간드는 상기 제1 표면 리간드 대비 리간드 길이가 짧은 것을 특징으로 하는 스트레인 센서
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제17항에 있어서, 상기 감지부에 포함되는 상기 제1 표면 리간드와 상기 제2 표면 리간드의 비는 33:67 내지 10:90인 것을 특징으로 하는 스트레인 센서
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제17항에 있어서, 상기 감지부는 내부에 크랙(crack)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 센서
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