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광학 현미경 시스템에 사용되는 스캐닝 장치에 있어서,다각형의 베이스 형상으로 형성된 고정부;일단이 상기 고정부의 일면에 구비되고, 대칭적인 형상으로 형성되어 2자유도의 회전 운동이 가능한 힌지부; 및상기 힌지부의 타단에 구비되어 상기 힌지부의 움직임에 따라 이동함으로써 2자유도의 회전 운동이 가능하고, 일면에 반사체가 부착될 수 있는 이동부;를 포함하고,상기 힌지부는 각각의 측면들이 굴곡진 형상으로 형성되고, 상기 각각의 측면들은 서로 대칭을 이루는, 스캐닝 장치
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제1항에 있어서,상기 힌지부는 상기 고정부에서 상기 이동부를 향하는 방향으로 너비가 감소하다가 다시 증가하는 형상으로 형성되는, 스캐닝 장치
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제3항에 있어서,상기 고정부는 사각형 형상으로 형성되고,상기 힌지부는 4개의 측면을 구비하고, 각각의 측면은 상기 힌지부의 중심축을 기준으로 만곡된 형상으로 형성된, 스캐닝 장치
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제4항에 있어서,상기 이동부는 원형의 형상으로 형성되는, 스캐닝 장치
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제1항에 있어서,상기 이동부의 주위에 구비되어 상기 이동부를 구동시키는 복수 개의 구동부;를 더 포함하고,상기 이동부의 회전축들은 상기 이동부의 평면 상에서 서로 수직하게 교차하는, 스캐닝 장치
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빛을 방출하는 레이저 광원;상기 레이저 광원의 일 측에 형성되어 상기 빛을 반사 시키는 스캐닝 장치;상기 스캐닝 장치에서 반사된 빛을 시편에 주사하는 대물렌즈; 및상기 시편에서 반사된 빛을 검출하는 광 검출기;를 포함하고,상기 스캐닝 장치는,다각형의 베이스 형상으로 형성된 고정부;일단이 상기 고정부의 일면에 구비되고, 대칭적인 형상으로 형성되어 2자유도의 회전 운동이 가능한 힌지부;상기 힌지부의 타단에 구비되어 상기 힌지부의 움직임에 따라 이동함으로써 2자유도의 회전 운동이 가능한 이동부; 상기 이동부의 일면에 구비되어 상기 레이저 광원에서 방출된 빛을 반사 시키는 반사체; 및상기 이동부의 주위에 구비되어 상기 이동부를 구동시키는 복수 개의 구동부;를 포함하고 2차원의 회전 운동이 가능하며, 상기 힌지부는 각각의 측면들이 굴곡진 형상으로 형성되고, 상기 각각의 측면들은 서로 대칭을 이루는, 광학 현미경 시스템
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제7항에 있어서,상기 힌지부는 상기 고정부에서 상기 이동부를 향하는 방향으로 너비가 감소하다가 다시 증가하도록 각각의 측면들이 굴곡진 형상으로 형성되고, 상기 이동부의 회전축들은 상기 이동부의 평면 상에서 서로 수직하게 교차하는, 광학 현미경 시스템
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제8항에 있어서,상기 고정부는 사각형 형상으로 형성되고,상기 힌지부는 4개의 측면을 구비하며, 각각의 측면은 상기 힌지부의 중심축을 기준으로 만곡된 형상으로 형성된, 광학 현미경 시스템
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제7항에 있어서,상기 레이저 광원과 상기 스캐닝 장치 사이에 위치하여, 상기 레이저 광원에서 방출된 되는 빛을 투과시키고, 상기 시편에서 반사되어 돌아오는 빛을 상기 광 검출기로 향하도록 편향시킬 수 있는 빔 스플리터; 및상기 빔 스플리터와 상기 광 검출기 사이에 위치하여, 상기 빔 스플리터를 통과한 빛을 상기 광 검출기에 집광시키는 이미징 렌즈;를 더 포함하는, 광학 현미경 시스템
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