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격자 주기에 따라 대응하는 중심 파장을 가지며 상기 격자 주기에 해당하는 여러 파장대역의 빛을 선별하기 위한 복수의 격자가 간격을 두고 배치된 격자 결합기 어레이;상기 격자 결합기 어레이에서 선별된 빛의 중심 파장이 유도되는 복수의 광도파로가 구비된 광도파로 어레이; 및,상기 광도파로 어레이의 각 파장대역의 빛을 검출하여 파장에 따른 분광 스펙트럼을 분석하는 광검출기 어레이를 포함하며,상기 격자 결합기 어레이에 대해 격자 주기를 동일하게 하되, 입사각을 선택함으로써 특정 파장의 빛을 선별할 수 있도록 광격자 결합기 어레이에 입사시키는 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기
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제1항에 있어서,상기 격자와 광도파로는 실리콘 반도체, 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 화합물 반도체 또는 유전체의 소재를 사용하는 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기
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제1항에 있어서,상기 광검출기 어레이는 pn 광다이오드, pin 광다이오드, CCD 검출기, CMOS image sensor, IR enhanced CMOS sensor, 광결정 기반 검출기, 플라즈모닉스 기반 검출기, 또는 나노 포토닉스 기반 검출기 소자를 사용하는 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기
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제1항에 있어서,상기 격자 결합기 어레이, 광도파로 어레이 및 광검출기 어레이는 전기적 배선이 형성된 기판에 배치되고,상기 광검출기 어레이로부터 나오는 광전류를 전기적 배선으로 전달되게 연결하여 외부와 전기적 연결이 용이한 칩 형태로 패키징된 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기
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제1항에 있어서,상기 격자 결합기 어레이에 대해 격자 주기를 달리하고,분석하고자 하는 빛을 평행광 형태의 광 빔으로 전환하여 광격자 결합기 어레이의 격자에 입사시키는 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기
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삭제
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제1항, 제5항 중 어느 한 항에 의한 분광기를 이용한 분광 방법은,넓은 파장대역의 빛을 발산하는 광원을 사용하여 분광 대상 시료에 빛을 조사하는 단계;시료로부터 시료의 정보를 갖고 산란되어 나오는 빛을 집속하여 격자 결합기 어레이의 격자에 입사시키는 단계;상기 격자 결합기에서 파장대역 별로 빛을 분기시키는 단계;상기 격자 결합기에 연결된 해당 광검출기에서 분기된 파장대역 별로 빛의 세기를 측정하는 단계; 및,시료로부터 나온 빛의 분광 스펙트럼을 분석하는 단계를 포함하며,상기 격자 결합기 어레이에 대해 격자 주기를 동일하게 하되, 입사각을 선택함으로써 특정 파장의 빛을 선별할 수 있도록 광격자 결합기 어레이에 입사시키는 것을 특징으로 하는 격자 결합기 어레이를 이용한 분광기의 분광 방법
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