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능동형 메타표면으로서, 평면상에 반복 배열된 복수의 단위 셀이 형성된 금속층; 및 상기 금속층에 접하여 배치되는 그래핀 필름;을 포함하며, 상기 단위 셀의 회전각도에 따라서 입사파에 대한 상기 능동형 메타표면을 통과한 투과파의 위상변이가 결정되고, 상기 그래핀 필름에 인가되는 전기신호를 통해 상기 투과파의 크기가 조절 가능한, 능동형 메타표면
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제1항에 있어서,상기 단위 셀은 U자 구멍 형상을 가지며, 상기 복수의 단위 셀은 상기 투과파가 소정 굴절각을 갖도록 배치되는, 능동형 메타표면
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3
제2항에 있어서,상기 단위 셀의 회전각도가 상기 평면상의 제1방향에서 선형적으로 변하도록 상기 복수의 단위 셀이 배치되는, 능동형 메타표면
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제2항 또는 제3항에 있어서,상기 입사파의 주파수에 따라 상기 굴절각이 변하는, 능동형 메타표면
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제1항에 있어서,상기 단위 셀은 U자 구멍 형상을 가지며, 상기 복수의 단위 셀은 상기 투과파가 집속하거나 발산하도록 배치되는, 능동형 메타표면
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평면상에 반복 배열된 복수의 단위 셀이 형성된 금속층 및 상기 금속층에 접하여 배치되는 그래핀 필름을 포함하는 능동형 메타표면; 상기 능동형 메타표면 상에 위치하는 유전물질층; 및 상기 유전물질층에 접하며 상기 그래핀 필름과 이격되어 배치되는 제1전극을 포함하는,광학소자
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7
제6항에 있어서,상기 그래핀 필름에 접하여 배치되는 제2전극을 더 포함하는, 광학소자
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8
제6항에 있어서,상기 능동형 메타표면 하부에 배치되는 폴리이미드층을 더 포함하며, 상기 제1전극은 상기 폴리이미드층 상에 배치되는, 광학소자
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9 |
9
제6항에 있어서,상기 유전물질층은 이온겔(ion-gel)로 형성된, 광학소자
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10
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 단위 셀의 회전각도에 따라서 입사파에 대한 상기 능동형 메타표면을 통과한 투과파의 위상변이가 결정되고, 상기 그래핀 필름에 인가되는 전기신호를 통해 상기 투과파의 크기가 조절 가능한, 광학소자
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11
제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 단위 셀은 U자 구멍 형상을 가지며, 상기 복수의 단위 셀은 상기 능동형 메타표면을 투과하는 투과파가 소정 각도로 굴절하거나, 집속하거나 또는 발산하도록 배치되는, 광학소자
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기판상에 지지층을 형성하는 단계;상기 지지층 상에 그래핀 필름을 형성하는 단계;상기 그래핀 필름 상에, 평면상에 반복 배열된 복수의 단위 셀이 형성된 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 금속층 상에 유전물질층을 형성하는 단계를 포함하는,광학소자 제조방법
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13
제12항에 있어서,상기 지지층 상에 위치하고 상기 유전물질층에 의해 상기 그래핀 필름과 이격되어 배치되는 제1전극을 형성하는 단계를 더 포함하는, 광학소자 제조방법
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14
제12항에 있어서,상기 그래핀 필름을 형성하는 단계는 전사방식에 의해 수행되며, 상기 그래핀 필름을 형성하는 단계는 상기 그래핀 필름에 접하여 배치되는 제2전극을 형성하는 단계를 더 포함하는, 광학소자 제조방법
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제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지지층은 폴리이미드로 형성된, 광학소자 제조방법
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