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(a) 기판 상에 고분자 물질을 도포하여 유연성 필름을 형성하는 단계;(b) 상기 유연성 필름 위에 패턴이 형성된 쉐도우마스크를 증착하는 단계;(c) 상기 쉐도우마스크가 증착된 유연성 필름을 플라즈마로 처리하여 유연성 필름 상 일부면에 산화막을 형성하는 단계;(d) 기능성 물질을 용매에 용해하여 기능성 용액을 제조하는 단계;(e) 상기 기능성 용액을 산화막이 형성된 유연성 필름에 도포하여 유연성 필름을 팽윤시키는 단계; (f) 팽윤된 유연성 필름을 물에 침지하여 산화막에 잔류하는 소수성 기능성 물질을 박리하고 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 패턴이 형성된 유연성 필름을 건조된 굴곡기판의 표면에 밀착시키며,알코올, 하이드로카본(hydrocarbon), 디메틸 아세트아미드(dimethyl acetamide) 및 디메틸 설폭사이드(dimethyl sulfoxide; DMSO)로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나 또는 2 이상을 혼합한 화학용매를 도포하여 유연성 필름을 팽윤시키는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 물질은, PDMS(polydimethylsiloxane), PETE(polyethylene terephthalate), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리카보네이트(polycarbonate) 및 에폭시 레진(epoxy resin)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 2 이상의 화합물인 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 쉐도우마스크는, 패턴이 음각되어, 음각 부위로 플라즈마가 유입되어 유연성 필름에 산화막(SiOx)을 형성하는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 용매는 톨루엔(toluene), n-헥산(n-Hexane), 메틸 에틸 케톤(Methyl Ethyl Ketone: MEK), 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate: PGMEA)로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나 또는 2 이상을 혼합하는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기능성 물질은 폴리디페닐아세틸렌, 폴리아닐린(polyaniline), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리피롤(polypyrole), 폴리실란, 폴리스티렌, 폴리퓨란, 폴리인돌, 폴리아줄렌, 폴리페닐렌, 폴리피리딘, 폴리비피리딘, 폴리프탈로시아닌, 폴리페닐렌비닐렌(polyphenylene vinylene), 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리플루오렌(polyfluorene), 및 PEDOT(polyethylenedioxythiophene)/PSS(polystyrenesulfonate)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (f) 단계 이후에,워터젯을 이용하여 유연성 필름에 잔류하는 기능성 물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 제조방법
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(i) 기판 상에 고분자 물질을 도포하여 유연성 필름을 형성하는 단계;(ii) 상기 유연성 필름 위에 패턴이 형성된 쉐도우마스크를 증착하는 단계;(iii) 상기 쉐도우마스크가 증착된 유연성 필름을 플라즈마로 처리하여 유연성 필름 상 일부면에 산화막을 형성하는 단계;(iv) 기능성 물질을 용매에 용해하여 기능성 용액을 제조하는 단계;(v) 상기 기능성 용액을 산화막이 형성된 유연성 필름에 도포하여 유연성 필름을 팽윤시키는 단계;(vi) 팽윤된 유연성 필름을 물에 침지하고 산화막에 잔류하는 소수성 기능성 물질을 박리하여 패턴을 형성하는 단계;(vii) 굴곡기판을 준비하고 건조하는 단계; 및(viii) 상기 굴곡기판에 패턴이 형성된 유연성 필름을 밀착시켜, 패턴이 형성된 기능성 물질을 정전기적 인력에 의하여 굴곡기판의 표면에 전사하는 단계를 포함하고,패턴이 형성된 유연성 필름을 건조된 굴곡기판의 표면에 밀착시키며,알코올, 하이드로카본(hydrocarbon), 디메틸 아세트아미드(dimethyl acetamide) 및 디메틸 설폭사이드(dimethyl sulfoxide; DMSO)로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나 또는 2 이상을 혼합한 화학용매를 도포하여 유연성 필름을 팽윤시키는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 전사방법
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제7항에 있어서,상기 굴곡기판은, PDMS(polydimethylsiloxane), PETE(polyethylene terephthalate), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리카보네이트(polycarbonate) 및 에폭시 레진(epoxy resin)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 2 이상의 고분자 화합물을 경화시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 전사방법
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제7항에 있어서,상기 (vii) 단계에서,상기 굴곡기판은 100 내지 180 ℃에서 30 분 내지 24 시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 전사방법
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제7항에 있어서,상기 도포되는 화학용매에는디아세톤 알코올(diacetone alcohol), 디이소부틸 케톤(diisobutyl ketone), 에틸아세토아세테이트(ethyl acetoacetate), 및 글리콜 에테르(glycol ether)로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나 또는 2 이상을 혼합한 화학용매가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 기능성 물질을 이용한 패턴 필름의 전사방법
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