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광소결 방법을 이용한 전도성 패턴의 형성 방법 및 이에 의해 형성된 전도성 패턴

  • 기술번호 : KST2019026022
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, (a) 투명 기판(transparent substrate)의 하면에 마스크(mask) 용액을 인쇄하여 IPL(intense pulsed light)에 대한 불투과 영역을 제공하는 마스크 패턴(mask pattern)층을 제작하는 단계, (b) 상기 투명 기판의 상면에 전도성 용액을 도포하여 전도층을 형성시키는 단계, (c) 상기 마스크 패턴층으로 IPL(intense pulsed light)을 조사하는 단계 및 (d) 상기 단계 (c)에서 상기 마스크 패턴층에 의해 IPL이 불투과되어 미소결된 전도층 및 상기 마스크 패턴층을 제거하는 단계를 포함하는 광소결 방법을 이용한 전도성 패턴의 형성 방법을 제공한다.본 발명에 따른 전도성 패턴의 형성방법은, 기판의 하면에 인쇄되어 불투과 영역을 제공하는 마스크 패턴층으로 인하여 IPL의 광이 선택적으로 투과되고, 기판의 상면에 형성된 전도층을 마스크 패턴층의 형태로 광소결시킴으로써, 마스크를 사용하여 패턴을 형성하는 종래 기술과 비교하여 공정이 단순해지고 연속적인 공정을 수행할 수 있어 전도성 패턴의 대량 생산을 통해 생산 단가를 낮추는 효과가 있다.
Int. CL H05K 3/12 (2006.01.01) B41F 15/36 (2006.01.01) H05K 3/00 (2019.01.01)
CPC H05K 3/1216(2013.01) H05K 3/1216(2013.01) H05K 3/1216(2013.01) H05K 3/1216(2013.01)
출원번호/일자 1020160041478 (2016.04.05)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1712185-0000 (2017.02.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.05)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승현 대한민국 대전광역시 유성구
2 우규희 대한민국 경기도 고양시 일산동구
3 김광영 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 장윤석 대한민국 대전광역시 서구
5 이택민 대한민국 대전광역시 유성구
6 권신 대한민국 세종특별자치시 누리로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0327445-84
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0351192-35
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.05.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0071970-75
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0427660-53
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0794024-07
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0794013-05
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0732934-34
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.11.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1108280-45
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-1108262-23
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0850946-16
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 롤-투-롤 프린팅(roll-to-roll printing) 방법을 이용하여, 투명 기판(transparent substrate)의 하면에 마스크(mask) 용액을 인쇄하여 IPL(intense pulsed light)에 대한 불투과 영역을 제공하는 마스크 패턴(mask pattern)층을 제작하는 단계;(b) 상기 투명 기판의 상면에 전도성 용액을 도포하여 전도층을 형성시키는 단계;(c) 상기 마스크 패턴층이 제작된 상기 투명 기판의 하면에 IPL(intense pulsed light)을 조사하여 광소결된 전도층 패턴을 형성시키는 단계; 및(d) 상기 단계 (c)에서 상기 마스크 패턴층에 의해 IPL이 불투과되어 미소결된 전도층 및 상기 마스크 패턴층을 세척을 통해 각각 제거하는 단계를 포함하고,상기 단계 (a)는,상기 투명 기판의 하면에 상기 마스크 용액을 인쇄하기 전, 상기 투명 기판의 상, 하면을 표면 클리닝(cleaning) 또는 표면 처리하는 단계를 포함하며,상기 단계 (b)는,상기 투명 기판의 상면에 상기 전도성 용액을 도포한 후, 상기 전도성 용액을 건조시키는 단계를 포함하고,상기 단계 (d)는,미소결된 전도층 및 상기 마스크 패턴층을 제거한 후, 상기 투명 기판을 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광소결 방법을 이용한 전도성 패턴의 형성 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 마스크 용액은 가시광선 차단제, 적외선 차단제 및 금속 분말로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
3 3
제 2항에 있어서,상기 가시광선 차단제는 질화지르코늄(ZrN), 질화하프늄(HfN), 질화붕소(BN), 질화알루미늄(AlN), 질화규소(Si3N4), 질화티타늄(TiN), 질화탄탈륨(TaN, Ta2N), 질화바나듐(VN), 질화크롬(CrN, Cr2N), 질화몰리브덴(Mo2N), 질화니오브(NbN) 및 질화텅스텐(WN, W2N)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
4 4
제 2항에 있어서,상기 적외선 차단제는 안티몬산화주석(Antimony-Doped Tin Oxide, ATO), 산화몰리브덴(MoO,Mo2O3) 및 산화아연(ZnO)으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
5 5
제 2항에 있어서,상기 금속 분말은 알루미늄(Al), 니켈(Ni) 및 크롬(Cr)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 전도성 용액은 와이어(wire), 막대(rod) 또는 구(globular shape)의 형태를 가지는 나노 금속 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성 방법
7 7
제 6항에 있어서,와이어 형태를 가지는 상기 나노 금속 분말은 10 내지 100 ㎚ 범위의 직경 및 1 ㎛ 내지 1 mm 범위의 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성 방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 나노 금속 분말은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 및 백금(Pt)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 금속으로 이루어진 1종 이상의 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
9 9
삭제
10 10
제 1항에 있어서,상기 단계 (b)는 바 코팅(bar coating), 슬롯 다이 코팅(slot die coating), 및 스프레이 코팅(spray coating)으로부터 선택되는 1종 이상의 방법을 이용하여 상기 전도성 용액을 도포하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
11 11
제 1항에 있어서,상기 단계 (b)에서는 상기 전도성 용액을 1 내지 5 회 반복하여 도포하는 것을 특징으로 하는 전도성 패턴의 형성방법
12 12
제 1항에 있어서,상기 단계 (c)에서는 0
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 재료연구소 융합연구사업-국가연구개발사업 마이크로 전자용 0.1~10 ㎛급 미세금속분말 제조 및 부품화기술 개발 (4/5)
2 미래창조과학부 기계연구원 주요사업 인쇄전자소자(PEMS) 연속생산 시스템 Test Bed 기반구축사업 (5/5)