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대면적 초음파 세정장치

  • 기술번호 : KST2019026076
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 진동소자가 결합된 진동부를 세정액을 이용해 냉각시킬 수 있도록 하고 열교환된 세정액은 기판으로 분사되도록 하여 세정액이 열교환 및 초음파 전달체의 역할을 할 수 있도록 함으로써, 진동소자에서 발생되는 열을 효과적으로 방열하여 진동소자가 냉각될 수 있어 진동소자에서 발생되는 초음파를 안정시켜 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/449 (2006.01.01) B08B 7/02 (2006.01.01) B08B 11/04 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/449(2013.01) H01L 21/449(2013.01) H01L 21/449(2013.01) H01L 21/449(2013.01) H01L 21/449(2013.01)
출원번호/일자 1020160121627 (2016.09.22)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1827296-0000 (2018.02.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0920762-41
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0088083-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0417030-65
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0783567-53
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.08.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0783605-01
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0830892-15
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부가 중공되어 하측이 개방되게 형성되는 하우징;상기 하우징에 결합되어 하우징 내부의 공간을 구획하며, 상하 한 쌍으로 이격되어 설치되는 구획판;상기 한 쌍의 구획판의 중앙부에 결합되는 진동부;상기 진동부의 상면에 결합되고 상기 하우징의 내부에 구비되어 초음파를 발생시키는 진동소자; 및내부가 중공되어 상기 하우징의 하측 둘레에 상단이 결합되며, 하단에 세정액 분사공이 형성되는 세정액 분사 노즐; 을 포함하여 이루어지며,상기 하우징에는 상기 한 쌍의 구획판 사이의 위치에 세정액이 유입되는 세정액 유입구가 형성되되, 상기 세정액 유입구는 하우징의 폭방향 양측에 형성되고,하부 구획판에는 폭방향 양측에 상하를 관통하는 세정액 유출구가 형성되되, 상기 세정액 유출구는 길이방향을 따라 길게 슬롯 형태로 형성되거나 길이방향을 따라 서로 이격된 복수개의 홀 형태로 형성되어,상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 하우징과 진동부 사이의 공간을 따라 유동되어 세정액 유출구를 통해 세정액 분사 노즐의 내부로 배출된 후 세정액 분사 노즐의 내부를 통과하여 세정액 분사공을 통해 분사되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
2 2
제1항에 있어서,상기 세정액 분사 노즐의 내측에는 상기 세정액 유출구에서 하측으로 이격되어 배치된 유동 가이드부가 형성되어, 상기 세정액 유출구에서 배출된 세정액이 상기 진동부의 하측 중앙에 근접한 부분을 향해 유동되도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
3 3
제1항에 있어서,상기 세정액 유입구는 상기 진동부를 향해 관통 형성되거나, 세정액이 유동되는 방향으로 상기 하우징과 진동부 사이의 공간을 향해 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
4 4
제1항에 있어서,상기 세정액 유입구가 형성된 하우징의 내측에 배플이 형성되어, 상기 세정액 유입구로 유입된 세정액은 상기 배플에 의해 흐름이 분할되거나 차단되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
5 5
제1항에 있어서,상기 세정액 유입구 또는 세정액 유출구가 복수개 형성되거나, 상기 세정액 유입구 및 세정액 유출구가 모두 복수개 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
6 6
제1항에 있어서,상기 세정액 유입구는 서로 이격되어 하우징의 둘레를 따라 복수개 형성되며, 상기 세정액 유출구는 서로 이격되어 하부 구획판에 복수개 형성되되, 상기 세정액 유출구는 세정액 유입구들 사이의 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 세정장치
7 7
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패밀리정보가 없습니다
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