맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

스캐닝 방식의 노광 장치

  • 기술번호 : KST2019026177
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 스캐닝 방식의 노광 장치는 XY 스테이지와 광원 유닛 및 현미경 유닛을 포함한다. 광원 유닛은 회전 틸트 유닛을 매개로 XY 스테이지에 설치되고, 복수의 발광 다이오드를 포함하며, 노광 타겟을 지지하는 기판보다 작은 크기를 가진다. 현미경 유닛은 광원 유닛에 결합된다. 광원 유닛과 현미경 유닛은 XY 스테이지의 특정 위치에서 X축 틸트과 Y축 틸트 및 Z축 회전이 이루어진다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01)
CPC G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01)
출원번호/일자 1020170154945 (2017.11.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1922204-0000 (2018.11.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.20)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장성환 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재구 대한민국 대전광역시 유성구
3 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
4 김정엽 대한민국 대전광역시 유성구
5 김관오 대한민국 대전광역시 유성구
6 유영은 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1153866-79
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0093237-96
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.02.28 수리 (Accepted) 9-1-2018-0008085-24
6 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0037348-78
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0286671-16
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0621372-37
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0621373-83
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0539982-67
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0890745-06
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.09.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0890746-41
13 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0631131-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
발광 소자를 포함하는 광원 유닛;상기 광원 유닛에 결합되며 지면과 나란한 제1 회전축과, 제1 회전축에 결합된 제1 몸체와, 제1 몸체에 결합되며 지면과 나란하고 제1 회전축과 직교하는 제2 회전축과, 제2 회전축에 결합된 제2 몸체와, 제2 몸체에 결합되며 중력 방향과 나란한 제3 회전축과, 제3 회전축에 결합된 제3 몸체를 포함하는 회전 틸트 유닛;상기 회전 틸트 유닛에 결합되며, 상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키는 XY 스테이지;상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛 중 적어도 하나에 결합되며, 상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛 중 적어도 하나와 같이 움직이면서 노광 타겟을 촬영하는 이동식 현미경 유닛; 및상기 노광 타겟 상에 위치하며, 차광부와 투광부를 가지는 노광 마스크를 포함하고,상기 광원 유닛과 상기 이동식 현미경은 상기 XY 스테이지의 특정 위치에서 상기 제1 회전축에 의한 X축 틸트각 조절과, 상기 제2 회전축의 회전에 의한 Y축 틸트각 조절과, 상기 제3 회전축의 회전에 의한 Z축 회전각 조절이 가능한 스캐닝 방식의 노광 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 광원 유닛은 같은 밝기로 발광하는 복수의 발광 소자를 포함하고, 상기 노광 타겟을 지지하는 기판보다 작은 크기를 가지는 스캐닝 방식의 노광 장치
3 3
제2항에 있어서,상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛이 노광 헤드를 구성하고,상기 XY 스테이지에 서로간 거리를 두고 적어도 두 개의 노광 헤드가 설치되는 스캐닝 방식의 노광 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 적어도 두 개의 노광 헤드 각각에 포함된 상기 광원 유닛은 서로 다른 파장의 빛을 방출하는 스캐닝 방식의 노광 장치
5 5
개별적인 광량 제어가 가능한 복수의 발광 소자를 포함하는 광원 유닛;상기 광원 유닛에 결합되며 지면과 나란한 제1 회전축과, 제1 회전축에 결합된 제1 몸체와, 제1 몸체에 결합되며 지면과 나란하고 제1 회전축과 직교하는 제2 회전축과, 제2 회전축에 결합된 제2 몸체와, 제2 몸체에 결합되며 중력 방향과 나란한 제3 회전축과, 제3 회전축에 결합된 제3 몸체를 포함하는 회전 틸트 유닛;상기 회전 틸트 유닛에 결합되며, 상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키는 XY 스테이지; 및상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛 중 적어도 하나에 결합되며, 상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛 중 적어도 하나와 같이 움직이면서 노광 타겟을 촬영하는 이동식 현미경 유닛을 포함하고,상기 광원 유닛과 상기 이동식 현미경 유닛은 상기 XY 스테이지의 특정 위치에서 상기 제1 회전축의 회전에 의한 X축 틸트각 조절과, 상기 제2 회전축의 회전에 의한 Y축 틸트각 조절과, 상기 제3 회전축의 회전에 의한 Z축 회전각 조절이 가능한 스캐닝 방식의 노광 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 복수의 발광 소자는 제어 회로부에 의해 공급 전류가 제어되는 복수의 발광 다이오드로 구성되고,상기 광원 유닛은 상기 노광 타겟을 지지하는 기판보다 작은 크기를 가지며, 상기 복수의 발광 소자의 개별적인 광량 제어에 의해 노광 마스크를 대체하는 스캐닝 방식의 노광 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 광원 유닛과 상기 회전 틸트 유닛이 노광 헤드를 구성하고,상기 XY 스테이지에 서로간 거리를 두고 적어도 두 개의 노광 헤드가 설치되는 스캐닝 방식의 노광 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 적어도 두 개의 노광 헤드 각각에 포함된 상기 광원 유닛은 서로 다른 파장의 빛을 방출하는 스캐닝 방식의 노광 장치
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 현미경 유닛은 상기 광원 유닛에 결합된 제1 현미경 유닛과, 상기 제2 몸체에 결합된 제2 현미경 유닛 중 적어도 하나를 포함하며,상기 제1 현미경 유닛의 범위는 상기 광원 유닛의 노광 범위와 일치하는 스캐닝 방식의 노광 장치
15 15
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 회전 틸트 유닛과 상기 XY 스테이지 사이에 설치되어 상기 XY 스테이지에 대해 상기 회전 틸트 유닛과 상기 광원 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 제1 Z축 이송부를 더 포함하는 스캐닝 방식의 노광 장치
16 16
제15항에 있어서,상기 XY 스테이지에 결합되어 상기 XY 스테이지와 상기 회전 틸트 유닛 및 상기 광원 유닛을 Z축 방향으로 이동시키는 제2 Z축 이송부를 더 포함하는 스캐닝 방식의 노광 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 주요사업 능동소자용 기능성 나노복합구조체 융합가공기술 개발 (3/3)
2 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (2/3)