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측정 불가 구간과 방향 모호성이 없는 절대거리 측정을 위한 분광형 간섭계 시스템

  • 기술번호 : KST2019028049
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 절대거리 측정 장치를 제공한다. 이 절대거리 측정 장치는 모드 잠금 광빗 레이저; 상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기; 상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 제1 기준 거울와 제2 기준거울로 빔을 분할하는 제2 광 분할기; 상기 제1 광분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 제1 기준 거울로부터 반사된 빔, 그리고 상기 제2 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함한다.
Int. CL G01B 11/02 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01) G02B 27/14 (2006.01.01) H01S 3/11 (2006.01.01)
CPC G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01) G01B 11/02(2013.01)
출원번호/일자 1020160068129 (2016.06.01)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1792632-0000 (2017.10.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.01)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 진종한 대한민국 대전광역시 유성구
2 박정재 대한민국 대전광역시 유성구
3 김종안 대한민국 대전광역시 유성구
4 김재완 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0528862-13
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0860223-68
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0155559-26
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0410803-97
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0410802-41
6 등록결정서
Decision to grant		 2017.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0688424-28
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
좁은 선폭을 가지는 수많은 모드들로 이루어져 있어 넓은 파장 대역폭을 가지는 모드 잠금 광빗 레이저;상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기;상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 제1 기준 거울와 제2 기준거울로 빔을 분할하는 제2 광 분할기;상기 제1 광분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 제1 기준 거울로부터 반사된 빔, 그리고 상기 제2 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 두 개의 기준빔을 통해 측정된 두 개의 거리 측정신호를 통해 측정불가구간 및 방향 모호성이 해결된 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
2 2
제1 항에 있어서,명확한 신호 구별을 위해 상기 제1 기준 거울의 반사율은 상기 제2 기준 거울의 반사율과 서로 다른 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
3 3
제1 항에 있어서,제1 측정신호는 상기 제1 기준거울에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭스펙트럼의 푸리에변환 결과이고,제2 측정신호는 제2 기준거울에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭 스펙트럼의 푸리에 변환 결과이고,상기 연산부는 상기 제1 측정신호와 상기 제2 측정신호의 신호 세기와 상대적인 위치에 따라 상기 측정 대상의 절대거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
4 4
제1 항에 있어서,비모호성거리의 반복 회수를 결정하기 위해, 상기 측정 대상과 상기 제1 광 분할기 사이의 거리 측정을 위한 비행시간 측정 센서 또는 리니어 스케일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 거리 측정 장치
5 5
좁은 선폭을 가지는 수많은 모드들로 이루어져 있어 넓은 파장 대역폭을 가지는 모드 잠금 광빗 레이저;상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기;상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 그 일면에서 상기 기준 빔의 일부를 반사시키고 그 타면에서 상기 기준의 잔부를 반사시키는 광학 윈도우;상기 제1 광 분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 광학 윈도우의 일면으로부터 반사된 빔 그리고 상기 광학 윈도우의 타면으로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 두 개의 기준빔을 통해 측정된 두 개의 거리 측정신호를 통해 측정불가구간 및 방향 모호성이 해결된 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 광학 윈도우의 일면의 반사율은 상기 광학 윈도우의 타면의 반사율과 서로 다른 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
7 7
제5 항에 있어서,제1 측정신호는 상기 광학 윈도우의 일면에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭스펙트럼의 푸리에변환 결과이고,제2 측정신호는 상기 광학 윈도우의 타면에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭 스펙트럼의 푸리에 변환 결과이고,상기 연산부는 상기 제1 측정신호와 상기 제2 측정신호의 신호 세기와 상대적인 위치에 따라 상기 측정 대상의 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
8 8
제5 항에 있어서,비모호성거리의 반복 회수를 결정하기 위해, 상기 측정 대상과 상기 제1 광 분할기 사이의 거리 측정을 위한 비행시간 측정 센서 또는 리니어 스케일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 거리 측정 장치
9 9
좁은 선폭을 가지는 수많은 모드들로 이루어져 있어 넓은 파장 대역폭을 가지는 모드 잠금 광빗 레이저;상기 모드 잠금 광빗 레이저의 출력광을 제공받아 기준 경로와 측정 경로로 빔을 분할하는 제1 광 분할기;상기 기준 경로의 기준 빔을 제공받아 그 일면에서 상기 기준 빔의 일부를 반사시키고 상기 기준 빔의 잔부를 투과시키는 펠리클 광분할기;상기 펠리클 광분할기를 투과한 광을 반사시키는 기준 거울;상기 제1 광 분할기로부터 상기 측정 경로의 측정 빔을 제공받아 반사시키는 측정 대상; 상기 측정 대상으로부터 반사된 빔을 상기 측정 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받고, 상기 펠리클 광분할기로부터 반사된 빔, 그리고 상기 기준 거울로부터 반사된 빔을 상기 기준 경로를 따라 상기 제1 광 분할기를 통하여 제공받아 파장에 따른 스펙트럼을 측정하는 광 스펙트럼 분석기; 및 상기 광 스펙트럼 분석기의 측정 결과를 분석하여 두 개의 기준빔을 통해 측정된 두 개의 거리 측정신호를 통해 측정불가구간 및 방향 모호성이 해결된 상기 측정 대상의 절대거리를 추출하는 연산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
10 10
제9 항에 있어서,상기 펠리클 광분할기의 반사율은 상기 기준 거울의 반사율과 서로 다른 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
11 11
제9 항에 있어서,제1 측정신호는 상기 펠리클 광분할기에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭스펙트럼의 푸리에변환 결과이고,제2 측정신호는 상기 기준 거울에서 반사된 광과 상기 측정 대상에서 반사된 광이 간섭하여 형성되는 간섭 스펙트럼의 푸리에 변환 결과이고,상기 연산부는 상기 제1 측정신호와 상기 제2 측정신호의 신호 세기와 상대적인 위치에 따라 상기 측정 대상의 위치를 산출하는 것을 특징으로 하는 절대거리 측정 장치
12 12
제9 항에 있어서,비모호성거리의 반복 회수를 결정하기 위해, 상기 측정 대상과 상기 제1 광 분할기 사이의 거리 측정을 위한 비행시간 측정 센서 또는 리니어 스케일를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 절대 거리 측정 장치
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1 WO2017209352 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017209352 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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