| 1 |
1
광대역 광을 출력하는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제1 광섬유를 통하여 박막이 형성된 샘플에 조사하고 상기 박막에서 다중 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 제2 광섬유를 포함하는 광섬유 번들; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하는 분광 검출부;입사광이 상기 박막에 조사하도록 상기 광섬유 번들의 일단을 지지하고 상기 박막으로부터 공기 부상시키는 공기 부상 반사 프로브; 및상기 공기 부상 반사 프로브에 가압 공기를 제공하는 공기 펌프를 포함하고,상기 공기 부상 반사 프로브는:공기 부상 몸체부; 및광섬유 번들 고정부를 포함하고,상기 공기 부상 몸체부는 그 중심에 제1 관통홀을 포함하고 상기 공기 펌프로부터 제공되는 가압 공기를 제공받아 상기 박막 방향으로 분사하도록 상기 제1 관통홀 주위의 하부면에 배치된 복수의 노즐들을 포함하고,상기 광섬유 번들 고정부는 그 중심에 형성된 제2 관통홀을 포함하고 상기 공기 부상 몸체부의 상부면과 결합하여 상기 광섬유 번들의 일단을 상기 제2 관통홀에 고정하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 공기 부상 몸체부의 단면은 사각형인 토로이달 형상이고,상기 광섬유 번들 고정부는 절두 원뿔 형상이고,상기 공기 부상 몸체부는 그 내부에 토로이달 형태의 공기 버퍼 공간을 구비하고,상기 노즐들은 상기 공기 부상 몸체부의 하부면에서 일정한 반경을 가지는 원주 상에 일정한 간격으로 배치되고,상기 노즐들 각각은 상기 공기 버퍼 공간에 연결되는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 4 |
4
광대역 광을 출력하는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제1 광섬유를 통하여 박막이 형성된 샘플에 조사하고 상기 박막에서 다중 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 제2 광섬유를 포함하는 광섬유 번들; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하는 분광 검출부;입사광이 상기 박막에 조사하도록 상기 광섬유 번들의 일단을 지지하고 상기 박막으로부터 공기 부상시키는 공기 부상 반사 프로브; 및상기 공기 부상 반사 프로브에 가압 공기를 제공하는 공기 펌프를 포함하고,상기 제2 광섬유에 연결되어 상기 반사광을 제1 출력 포트 및 제2 출력 포트로 분기하는 광섬유 방향성 커플러; 및상기 광섬유 방향성 커플러의 제1 출력 포트에 연결되는 광검출부를 더 포함하고,상기 광섬유 방향성 커플러의 제2 출력 포트는 상기 분광 검출부에 연결되는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 5 |
5
제1 항에 있어서,상기 제2 광섬유는 하나이고,상기 제1 광섬유는 복수 개이고, 상기 제1 광섬유는 상기 제2 광섬유를 둘러싸도록 배열되는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 제2 광섬유는 복수 개이고,상기 제1 광섬유는 하나이고, 상기 제2 광섬유는 상기 제1 광섬유를 둘러싸도록 배열되는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 7 |
7
제6 항에 있어서,상기 제2 광섬유를 구성하는 광섬유들 각각에 연결되어 상기 반사광을 제1 출력 포트 및 제2 출력 포트로 분기하는 광섬유 방향성 커플러; 및상기 광섬유 방향성 커플러의 제1 출력 포트에 연결되는 광검출부를 더 포함하고,상기 광섬유 방향성 커플러의 제2 출력 포트는 상기 분광 검출부에 연결되는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 8 |
8
제7 항에 있어서,상기 광검출부는 2차원 광검출기인 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 9 |
9
제4 항에 있어서,상기 공기 펌프의 압력을 제어하여 상기 박막과 상기 공기 부상 반사 프로브의 하부면 사이의 부상 높이를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 10 |
10
제9 항에 있어서,상기 제어부는 상기 박막과 상기 공기 부상 반사 프로브의 하부면 사이의 부상 높이에 따른 상기 광검출부의 출력 신호를 처리하고,상기 제어부는 최적 부상 높이를 유지하도록 상기 공기 펌프의 압력을 제어하고,상기 제어부는 상기 광검출부가 상기 반사광에 의하여 포화된 경우 포화되지 않도록 상기 광대역 광원의 출력광의 세기를 제어하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막두께 측정 장치
|
| 11 |
11
광대역 광을 출력하는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제1 광섬유를 통하여 박막이 형성된 샘플에 조사하고 상기 박막에서 다중 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 제2 광섬유를 포함하는 광섬유 번들; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하는 분광 검출부;입사광이 상기 박막에 조사하도록 상기 광섬유 번들의 일단을 지지하고 상기 박막으로부터 공기 부상시키는 공기 부상 반사 프로브; 및상기 공기 부상 반사 프로브에 가압 공기를 제공하는 공기 펌프를 포함하고,상기 공기 부상 반사 프로브는 상기 공기 부상 몸체부와 상기 광섬유 번들 고정부 사이에 배치되고 공기 부상 몸체부와 광섬유 번들 고정부 사이의 간격을 조절하는 압전 엑츄에이터를 더 포함하고,압전 엑츄에이터 구동부는 상기 압전 엑츄에이터를 구동하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 12 |
12
제11 항에 있어서,상기 압전 엑츄에이터는 동일한 각도로 3 분할된 와셔 형상이고, 상기 분할된 압전 엑츄에이터들은 독립적으로 동작하여 상기 박막과 상기 광섬유 번들의 일단 사이의 거리 및 상기 박막의 배치평면에 대한 틸팅 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 13 |
13
광대역 광을 출력하는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제1 광섬유를 통하여 박막이 형성된 샘플에 조사하고 상기 박막에서 다중 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 제2 광섬유를 포함하는 광섬유 번들; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하는 분광 검출부;입사광이 상기 박막에 조사하도록 상기 광섬유 번들의 일단을 지지하고 상기 박막으로부터 공기 부상시키는 공기 부상 반사 프로브; 및상기 공기 부상 반사 프로브에 가압 공기를 제공하는 공기 펌프를 포함하고,상기 공기 부상 반사 프로브에 장착된 내시경을 더 포함하고,상기 내시경은 상기 샘플에서 측정 위치를 확인하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 14 |
14
제1 항에 있어서,상기 공기 부상 반사 프로브의 수직 운동을 가이드하는 수직 운동 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 15 |
15
제1 항에 있어서,상기 공기 부상 반사 프로브는 상기 제2 관통홀 주위에 배치되어 상기 광섬유 번들의 일단의 수직 위치를 미세 조절하는 압전 엑츄에이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
| 16 |
16
광대역 광을 출력하는 광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 제1 광섬유를 통하여 박막이 형성된 샘플에 조사하고 상기 박막에서 다중 반사된 반사광을 수집하여 전달하는 제2 광섬유를 포함하는 광섬유 번들; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 반사광을 파장에 따라 검출하는 분광 검출부;입사광이 상기 박막에 조사하도록 상기 광섬유 번들의 일단을 지지하고 상기 박막으로부터 공기 부상시키는 공기 부상 반사 프로브; 및상기 공기 부상 반사 프로브에 가압 공기를 제공하는 공기 펌프를 포함하고,상기 공기 부상 반사 프로브는:공기 부상 몸체부; 및광섬유 번들 고정부를 포함하고,상기 공기 부상 몸체부는 그 중심에 제1 관통홀을 포함하고 상기 공기 펌프로부터 제공되는 가압 공기를 제공받아 상기 박막 방향으로 분사하도록 다공성 세라믹판을 포함하고, 상기 광섬유 번들 고정부는 그 중심에 형성된 제2 관통홀을 포함하고 상기 공기 부상 몸체부의 상부면과 결합하여 상기 광섬유 번들의 일단을 상기 제2 관통홀에 고정하는 것을 특징으로 하는 공기 부상 박막 두께 측정 장치
|
