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EUV 펠리클 구조체, 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019030875
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층, 상기 EUV 투과층의 제1 면 상에 배치된 제1 OoB(out-of-band) 필터층, 및 상기 EUV 투과층의 제1 면에 대향하는 제2 면 상에 배치된 제2 OoB(out-of-band) 필터층을 포함하되, 상기 제1 및 제2 OoB 필터층은 산화지르코늄(ZrO2)으로 형성된 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체가 제공될 수 있다.
Int. CL G03F 1/62 (2012.01.01) G03F 1/22 (2012.01.01) G03F 1/00 (2006.01.01) G03F 1/66 (2012.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01)
출원번호/일자 1020160014268 (2016.02.04)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1726125-0000 (2017.04.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170413) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.04)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김지은 대한민국 인천광역시 부평구
2 안진호 대한민국 서울특별시 강남구
3 홍성철 대한민국 서울 성동구
4 김정환 대한민국 서울 강남구
5 정성훈 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0123133-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.09.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0038910-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0730734-63
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-1212669-64
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.12.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1212687-86
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0238199-62
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
EUV(Extreme Ultraviolet) 투과층;상기 EUV 투과층의 제1 면 상에 배치된 제1 OoB(out-of-band) 필터층; 상기 EUV 투과층의 제1 면에 대향하는 제2 면 상에 배치된 제2 OoB(out-of-band) 필터층;상기 EUV 투과층과 상기 제1 OoB 필터층 사이에 지르코늄(Zr)을 포함하는 제3 OoB 필터층; 및상기 EUV 투과층과 상기 제2 OoB 필터층 사이에 지르코늄(Zr)을 포함하는 제4 OoB 필터층을 포함하되,상기 제1 및 제2 OoB 필터층은 산화지르코늄을 포함하는 EUV 펠리클 구조체
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서, 상기 제3 및 제4 OoB 필터층은, OoB 광에 대한 차단율을 증가시키는 EUV 펠리클 구조체
4 4
제1 항에 있어서, 상기 EUV 펠리클 구조체는, 상기 제2 OoB 필터층의 가장자리 면에 부착되어 상기 EUV 투과층과 상기 제1 및 제2 OoB 필터층을 지지하는 펠리클 프레임을 더 포함하는 EUV 펠리클 구조체
5 5
제1 항에 있어서, 상기 EUV 투과층, 및 상기 제1 내지 제4 OoB 필터층이 하나의 단위막으로 정의되고, 상기 단위막이 복수개 적층된 구조를 더 포함하는 EUV 펠리클 구조체
6 6
EUV 투과층을 준비하는 단계;상기 EUV 투과층의 제1 면, 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면 상에 지르코늄(Zr)을 포함하는 필터층을 형성하는 단계; 및표면 산화(surface oxidation) 공정을 통해, 상기 필터층에 포함된 상기 지르코늄(Zr)의 적어도 일부를 산화시켜 산화지르코늄(ZrO2) 형성하는 단계를 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
7 7
제6 항에 있어서,상기 표면 산화 공정은, 에노다이징(anodizing) 공정 또는 열처리(thermal treatment) 공정 중 어느 하나를 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
8 8
제7 항에 있어서,상기 에노다이징 공정의 인가된 전압 및/또는 수행시간, 또는 상기 열처리 공정의 온도 및/또는 수행시간이 증가함에 따라, 상기 필터층의 내에서, 상기 지르코늄의 두께는 감소하고, 상기 산화지르코늄의 두께는 증가하는 것을 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
9 9
제7 항에 있어서,상기 에노다이징 공정의 인가된 전압 및/또는 수행시간, 또는 상기 열처리 공정의 온도 및/또는 수행시간이 증가함에 따라, 상기 필터층 내의 상기 지르코늄은 완전히 산화되어, 상기 필터층은 상기 산화지르코늄으로 형성되는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
10 10
제7 항에 있어서, 상기 EUV 투과층, 및 상기 지르코늄 및/또는 산화지르코늄을 포함하는 필터층이 하나의 단위막로 정의되고, 상기 단위막을 복수개 적층하는 것을 더 포함하는 EUV 펠리클 구조체의 제조 방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한양대학교 산학협력선도대학(LINC)육성사업 / LINK(기업지원) / 기술개발과제(2차) EUV 펠리클 용 멤브레인 개발