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분광 타원해석기

  • 기술번호 : KST2019031180
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 분광 타원해석기는, 편광된 광을 발생시키는 광학대; 및 광학대와 시편 사이에 마련되어, 편광된 광을 시편으로 입사시키고, 시편에서 반사된 반사광을 광학대로 입사시키는 대물거울계; 를 포함하고, 광학대는, 광을 조사하는 광원; 광원과 대물거울계 사이에 마련되어, 광원에서 조사된 광을 편광시키고, 시편에서 반사된 반사광을 분석하는 편광기; 및 편광기를 통과한 반사광의 편광 변화량을 검출하는 분광검출기; 를 포함할 수 있다. 이와 같은 분광 타원해석기에 의하면, 단일 광학대를 이용함으로써 광부품의 정렬이 용이하며, 광부품의 위치각을 찾는 캘리브레이션 과정이 생략될 수 있다. 또한, 단일 구동장치로 광학대의 회전이 이루어질 수 있으며, 장비의 소형화를 실현할 수 있다.
Int. CL G01N 21/21 (2006.01.01) G01N 21/55 (2014.01.01) G02B 13/00 (2006.01.01) G01N 3/06 (2006.01.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020160027018 (2016.03.07)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1761251-0000 (2017.07.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170728) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.07)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안일신 대한민국 경기도 안산시 상록구
2 이창호 대한민국 경기도 시흥시 인선길 **,
3 김슬기 대한민국 경기도 수원시 팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍성욱 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***(역삼동) 동아빌딩 *층(주식회사에스와이피)
2 심경식 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 동아빌딩 *층(에스와이피특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0218096-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2017-0009155-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0217038-94
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0497015-97
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0497014-41
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0491561-11
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
편광된 광을 발생시키는 광학대; 및상기 광학대와 시편 사이에 마련되어, 상기 편광된 광을 상기 시편으로 입사시키고, 상기 시편에서 반사된 반사광을 상기 광학대로 입사시키는 대물거울계; 를 포함하고, 상기 광학대는,광을 조사하는 광원;상기 광원과 상기 대물거울계 사이에 마련되어, 상기 광원에서 조사된 광을 편광시키고, 상기 시편에서 반사된 반사광을 분석하는 편광기; 상기 편광기를 통과한 상기 반사광의 편광 변화량을 검출하는 분광검출기;및 상기 편광기와 상기 대물거울계 사이에 마련되며, 개구가 형성된 슬릿;을 포함하고,상기 개구는, 소정의 간격을 두고 두 개로 분리되어 형성되어, 상기 시편으로 입사되는 입사광과 상기 시편에서 반사되는 반사광을 분리하는 분광 타원해석기
2 2
제 1 항에 있어서,상기 광학대는, 상기 시편과 수직으로 배치되는 분광 타원해석기
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 대물거울계는,일차거울인 볼록거울 및 이차거울인 오목거울을 포함하는 분광 타원해석기
6 6
제 1 항에 있어서,상기 대물거울계는,0
7 7
제 1 항에 있어서,상기 분광검출기는,상기 편광기를 통과한 상기 반사광의 편광 변화량에서, 상기 대물거울계에 의한 편광 변화량을 제거하는 분광 타원해석기
8 8
제 7 항에 있어서,상기 분광검출기는,하기의 [수학식2]를 이용하여, 상기 대물거울계에 의한 편광 변화량을 제거하는 분광 타원해석기
9 9
제 1 항에 있어서,상기 편광기는, 상기 시편의 수직축을 중심축으로 하여 회전하는 분광 타원해석기
10 10
제 9 항에 있어서,상기 분광검출기는, 하기의 [수학식5]를 이용하여, 상기 편광 변화량을 검출하는 분광 타원해석기
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 대물거울계를 대신하여 렌즈계를 포함하는 분광 타원해석기
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 렌즈계는, 적어도 하나의 볼록렌즈를 포함하는 분광 타원해석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한양대학교 에리카 산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 Lithography 공정에서 박막 및 표면을 고해상도 (100μm x100μm이하) 로 검사할 수 있는in-lineellipsometry기술개발