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측정 대상물이 놓이는 지지부;상기 지지부의 일 측에 위치하는 프로브 지지부;상기 프로브 지지부에 결합하며, 상기 측정 대상물의 표면을 측정하는 적어도 3개 이상의 프로브;상기 지지부와 상기 프로브 지지부 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상대 직선 구동시키는 구동부; 및상기 적어도 3개 이상의 프로브 각각에서 수신되는 측정 신호를 합산하여 합성 신호를 생성하고, 상기 합성 신호에서 상기 상대 직선 구동에서 발생하는 구동 오차 신호와 상기 측정 대상물의 표면 형상 오차 신호를 제거하는 연산부를 포함하되,상기 적어도 3개 이상의 프로브는 상기 상대 직선 구동 방향과 나란한 직선상에서 소정 간격 이격하여 배치되고,상기 3개의 이상의 프로브는 제1 내지 제3 프로브를 포함하고,상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제1 프로브와 상기 제2 프로브의 사이 거리의 비, 그리고 상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제2 프로브와 상기 제3 프로브의 사이 거리의 비는 각각 기약 분수로 나타나는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 프로브는 상기 프로브 지지부의 복수 개의 측면들 중 동일한 일 측면에 결합되는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제 4 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 프로브 각각은 동일 높이에 위치하는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 내지 제3 프로브 각각은, 상기 상대 직선 구동으로 동일한 경로를 따라 상기 측정 대상물의 표면 변화를 개별적으로 측정하는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 연산부는 상기 합성 신호에서 상기 구동 오차 신호가 제거된 신호를 푸리에 변환하여 고조파 성분이 선형 결합된 신호를 얻고,상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제1 프로브와 상기 제2 프로브의 사이 거리의 비를 기약분수(aL/T/bL/T)로 정의하고, 상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제2 프로브와 상기 제3 프로브의 사이 거리의 비를 기약분수(aR/T / bR/T)로 정의할 경우,상기 고조파 성분 중 파장이 가장 짧은 고조파의 파장(λmin)에 대한 파장이 가장 긴 고조파의 파장(λmax) 의 비율(λmax / λmin) 이 상기 bL/T와 bR/T 의 최소공배수보다 작은 값을 가지는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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측정 대상물이 놓이는 지지부;상기 지지부의 일 측에 위치하는 프로브 지지부;상기 프로브 지지부에 결합하며, 상기 측정 대상물의 표면을 측정하는 적어도 3개 이상의 프로브; 및상기 지지부와 상기 프로브 지지부 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상대 직선 구동시키는 구동부를 포함하되,상기 프로브 지지부는 상기 측정 대상물의 일 측면과 마주하는 제1 지지 영역과 상기 측정 대상물의 타 측면과 마주하는 제2 지지 영역을 포함하고,상기 적어도 3개 이상의 프로브는,상기 제1 지지 영역에 결합하며, 상기 상대 직선 구동 방향과 나란한 직선상에서 일렬 배열되는 제1 내지 제3 프로브;상기 제2 지지 영역에 결합하며, 상기 상대 직선 구동 방향과 나란한 직선상에서 일렬 배열되는 제4 내지 제6 프로브를 포함하는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제8 항에 있어서,상기 적어도 3개 이상의 프로브는,상기 제2 지지 영역에 결합하며, 상기 제4 내지 제6 프로브와 평행하게 배치되는 제7 내지 제9 프로브를 더 포함하는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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측정 대상물이 놓인 지지부와 상기 지지부의 일 측에 위치하는 적어도 3개 이상의 프로브 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상대 직선 구동시키는 단계; 및상기 상대 직선 구동 동안 상기 적어도 3개 이상의 프로브에서 상기 측정 대상물의 표면을 측정하여 측정 신호들을 생성하는 단계;를 포함하되, 상기 적어도 3개 이상의 프로브는 상기 상대 직선 구동 방향과 나란한 직선상에서 소정 간격 이격하여 배치되어 상기 측정 대상물의 표면을 측정하고,상기 3개의 이상의 프로브는 제1 내지 제3 프로브를 포함하고,상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제1 프로브와 상기 제2 프로브의 사이 거리의 비, 그리고 상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제2 프로브와 상기 제3 프로브의 사이 거리의 비는 각각 기약 분수로 나타나는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정 방법
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제 10 항에 있어서,상기 측정 신호를 합산하여 합성 신호를 생성하는 단계; 상기 합성 신호에서 상기 상대 직선 구동에서 발생하는 구동 오차 신호를 제거하는 단계; 및상기 구동 오차 신호가 제거된 상기 합성 신호에서 측정 대상물의 표면 형상 오차 신호를 제거하는 단계;를 더 포함하며,상기 구동 오차 신호가 제거된 상기 합성 신호에서 측정 대상물의 표면 형상 오차 신호를 제거하는 단계는, 상기 구동 오차가 제거된 상기 합성 신호를 푸리에 변환하여 고조파 성분이 선형 결합된 신호를 얻으며,상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제1 프로브와 상기 제2 프로브의 사이 거리의 비는 기약분수(aL/T/bL/T)로 정의하고,상기 측정 대상물의 측정길이에 대한 상기 제2 프로브와 상기 제3 프로브의 사이 거리의 비를 기약분수(aR/T / bR/T)로 정의할 경우,상기 고조파 성분 중 파장이 가장 짧은 고조파의 파장(λmin)에 대한 파장이 가장 긴 고조파의 파장(λmax)의 비율은 상기 bL/T와 bR/T 간의 최소공배수 보다 작은 값을 갖는 선형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정 방법
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