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이중층 페로브스카이트 결정 구조 물질을 포함하고, 습도에 따라 저항이 변화하는 습도 감지부;상기 습도 감지부의 일측 상에 위치하고, 상기 습도 감지부에 전류를 인가하는 전류 인가 단자부; 및상기 습도 감지부의 타측 상에 위치하고, 상기 습도 감지부로부터 상기 전류에 따른 전압을 측정하는 전압 측정 단자부;을 포함하며,상기 습도 감지부는, 상기 이중층 페로브스카이트 결정 구조에 대응하는 하기 화학식 4의 화합물의 조성에 맞도록 혼합된 복수의 금속 전구체들이 하소된 후, 환원 공정에 의해 상기 이중층 페로브스카이트 결정 구조 물질의 표면으로 용출되는 전이 금속이 산화 가스 분위기에서 어닐링되어 산화된 이중층 페로브스카이트 물질을 포함하는 습도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 화학식 4에서, 상기 R은 이트륨(Y), 네오디뮴(Nd), 프라세오디뮴(Pr), 스칸듐(Sc), 사마륨(Sm), 가돌리늄(Gd), 유로퓸(Eu), 터븀(Tb), 에르븀(Er), 또는 이들의 혼합물을 포함하는, 습도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 화학식 4에서, 상기 E는 바륨(Ba)이고, 상기 E'는 칼슘(Ca) 또는 스트론튬(Sr)인 습도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 화학식 4에서, 상기 T 및 T'는 망간(Mn), 코발트(Co), 철(Fe), 구리(Cu), 니켈(Ni) 또는 이들의 혼합물을 포함하는, 습도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 페로브스카이트 물질은, NdBa1-xSrxMn2-yCoyO5+δ, PrBa1-xSrxMn2-yCoyO5+δ, SmBa1-xSrxMn2-yCoyO5+δ, 및 GdBa1-xSrxMn2-yCoyO5+δ (여기에서 x는 0 초과 1 미만의 수이고, y는 0 초과 2 미만의 수임), 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 습도 센서
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이중층 페로브스카이트 결정 구조 물질을 포함하고, 습도에 따라 저항이 변화하는 습도 감지부; 상기 습도 감지부의 일측 상에 위치하고, 상기 습도 감지부에 전류를 인가하는 전류 인가 단자부; 및 상기 습도 감지부의 타측 상에 위치하고, 상기 습도 감지부로부터 상기 전류에 따른 전압을 측정하는 전압 측정 단자부;를 포함하고, 습도를 측정하는 습도 센서부;측정 대상 가스를 측정하는 가스 센서부; 및상기 습도 센서부에서 측정된 습도의 농도를 이용하여 상기 가스 센서부에서 측정된 측정 대상 가스의 농도를 보정하는 제어부;를 포함하며,상기 습도 감지부는, 상기 이중층 페로브스카이트 결정 구조에 대응하는 하기 화학식 4의 화합물의 조성에 맞도록 혼합된 복수의 금속 전구체들이 하소된 후, 환원 공정에 의해 상기 이중층 페로브스카이트 결정 구조 물질의 표면으로 용출되는 전이 금속이 산화 가스 분위기에서 어닐링되어 산화된 이중층 페로브스카이트 물질을 포함하는 습도 보정 가스 센서
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