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i) 챔버에서, 제1 금속을 포함하되 산소원자를 불포함하는 물질을 원료로 사용하여 기판에 증착시켜, 다공성 구조를 갖는 단일층으로 이루어진 상기 제1 금속의 다공성 금속 박막을 형성하는 단계; 및ii) 열처리로에서, 상기 단일층 구조의 다공성 금속 박막을 열처리하여 다공성 금속산화물 박막을 형성하는 단계로서, 상기 제1 금속의 산화물을 포함하는 다공성 금속산화물 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 금속은 구리(Cu), 철(Fe), 알루미늄(Al), 코발트(Co), 티타늄(Ti) 및 니켈(Ni) 중 어느 하나이고,상기 제1 금속이 구리, 철, 알루미늄 및 코발트 중 어느 하나이고, 상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계가 열 증착을 통해 수행되는 경우, 열원부의 온도는, 0
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제1항에 있어서,상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 열원부를 통해 상기 기판에 상기 제1 금속을 열 증착하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버 내부의 압력은 0
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제1항에 있어서, 상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 열원부를 통해 상기 기판에 상기 제1 금속을 열 증착하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버 내부의 압력은 0
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제1항에 있어서,상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 열원부를 통해 상기 기판에 상기 제1 금속을 열 증착하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버 내부의 압력은 0
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제1항에 있어서,상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 열원부를 통해 상기 기판에 상기 제1 금속을 열 증착하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버 내부의 압력은 0
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제1항에 있어서, 상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판에 상기 제1 금속을 스퍼터링하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버는, 상기 스퍼터링부가 속하는 제1 영역과 상기 기판이 속하는 제2 영역으로 구획되되, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 개구를 통해 연결되고,상기 제1 영역의 압력은 300 mTorr 이상 10 Torr이하이고,상기 제2 영역의 압력은 1 mTorr 이상 500 mTorr 이하이고,상기 제1 금속은 티타늄이고,상기 다공성 금속산화물 박막은 TiO2를 포함하는, 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법
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제1항에 있어서,상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판에 상기 제1 금속을 스퍼터링하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버는, 상기 스퍼터링부가 속하는 제1 영역과 상기 기판이 속하는 제2 영역으로 구획되되, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 개구를 통해 연결되고,상기 제1 영역의 압력은 300 mTorr 이상 10 Torr이하이고,상기 제2 영역의 압력은 1 mTorr 이상 500 mTorr 이하이고,상기 제1 금속은 니켈이고,상기 다공성 금속산화물 박막은 NiO를 포함하는, 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법
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제1항에 있어서,상기 다공성 금속 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판에 상기 제1 금속을 스퍼터링하여 다공성 금속 박막을 형성하는 단계이고,상기 챔버는, 상기 스퍼터링부가 속하는 제1 영역과 상기 기판이 속하는 제2 영역으로 구획되되, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 개구를 통해 연결되고,상기 제1 영역의 압력은 300 mTorr 이상 10 Torr이하이고,상기 제2 영역의 압력은 1 mTorr 이상 500 mTorr 이하이고,상기 제1 금속은 구리이고,상기 다공성 금속산화물 박막은 CuO 또는 Cu2O를 포함하는, 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법
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