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대상물에 X선을 투사하는 광원부;적어도 일면이 상기 대상물과 접하고, 상기 대상물을 투과해 도달하는 상기 X선을 감지해 가시광선을 발생시키는 신틸레이터를 포함하는 광감지부; 및상기 신틸레이터에서 발생시킨 가시광선으로 상을 형성하고, 형성된 상을 확대 또는 축소할 수 있는 렌즈를 포함하는 광학부;를 포함하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 광원부는,복수로 포함되고, 각각의 광원부는 상이한 영역에 X선을 투사하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 광원부는,마이크로포커스 X-선관을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제2항에 있어서,상기 광학부는,복수의 상기 광원부 각각에서 투사된 X선이 도달하는 영역에 각각 복수로 포함되는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치는상기 상을 이용해 결함 발생여부를 판단하는 결함디텍터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제5항에 있어서,상기 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치는상기 상을 이용해 결함 발생여부를 판단하는 결함디텍터를 더 포함하고,상기 결함디텍터는,상기 복수의 광학부에 대응되는 위치에 복수로 위치하는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치
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제1항의 미세 결함 검사용 비파괴 검사 장치를 이용한 미세 결함 검사용 비파괴 검사 방법으로,대상물에 상기 광원으로부터 X선을 투사하는 단계;상기 대상물을 투과해 도달하는 상기 X선을 감지해 상기 광감지부의 신틸레이터에서 가시광선을 발생시키는 단계;발생한 상기 가시광선으로 상기 광학부의 렌즈로 상을 형성하고, 형성된 상을 확대 또는 축소하는 단계; 및상기 상을 이용해 결함 발생여부를 판단하는 단계;를 포함하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 방법
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제8항에 있어서,상기 X선 투사 단계는,복수의 상이한 영역에 X선을 투사하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 방법
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제8항에 있어서,상기 X선 투사 단계는,마이크로포커스 X-선관을 이용해 X선을 투사하는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 방법
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제9항에 있어서,상기 상을 형성하는 단계는,복수의 상기 X선이 도달하는 영역에서 발생한 가시광선을 이용해 각각 복수로 상을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세 결함 검사용 비파괴 검사 방법
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