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마이크로 소자의 상면에는 제1전사필름이 점착되고, 상기 마이크로 소자의 하면에는 제2전사필름이 점착되어 일방향으로 공급되는 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름의 상면이 밀착되는 제1밀착부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름이 상기 제1밀착부에 밀착되면서 굽어져 상향으로 공급되도록 하는 제1당김부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 하측에 구비되고, 상기 제2전사필름의 하면이 밀착되는 제2밀착부; 그리고 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 하측에 구비되고, 상기 제2전사필름이 상기 제2밀착부에 밀착되면서 굽어져 하향으로 공급되도록 하는 제2당김부를 포함하고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부 중 하나 이상은 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향으로 왕복 이동되면서 상기 마이크로 소자 이송체의 상기 마이크로 소자가 상기 제1전사필름 또는 상기 제2전사필름에 요구되는 목표피치로 전사되어 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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2
제1항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향을 기준으로 상기 제2밀착부가 상기 제1밀착부보다 상대적으로 후방으로 이동되면, 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부보다 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부가 상대적으로 후방에 배치되고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제2굴곡변형부에서 분리되고 상기 제1전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향을 기준으로 상기 제2밀착부가 상기 제1밀착부보다 상대적으로 전방으로 이동되면, 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부가 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부보다 상대적으로 후방에 배치되고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제1굴곡변형부에서 분리되고 상기 제2전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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마이크로 소자의 상면에는 제1전사필름이 점착되고, 상기 마이크로 소자의 하면에는 제2전사필름이 점착되어 일방향으로 공급되는 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름의 상면이 밀착되는 제1밀착부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름이 상기 제1밀착부에 밀착되면서 굽어져 상향으로 공급되도록 하는 제1당김부; 상기 제1밀착부 및 상기 제1당김부의 사이에 구비되고 상하방향으로 이동하면서 상기 제1전사필름이 굽어지는 위치를 조절하는 제1굽힘조절부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 하측으로 상기 제1밀착부의 수직 하방에 구비되고, 상기 제2전사필름의 하면이 밀착되는 제2밀착부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 하측에 구비되고, 상기 제2전사필름이 상기 제2밀착부에 밀착되면서 굽어져 하향으로 공급되도록 하는 제2당김부; 그리고상기 제2밀착부 및 상기 제2당김부의 사이에 구비되고 상하방향으로 이동하면서 상기 제2전사필름이 굽어지는 위치를 조절하는 제2굽힘조절부를 포함하고, 상기 제1굽힘조절부 및 상기 제2굽힘조절부는 각각 독립적으로 상하 방향으로 왕복 이동되면서 상기 마이크로 소자 이송체의 상기 마이크로 소자가 상기 제1전사필름 또는 상기 제2전사필름에 요구되는 목표피치로 전사되어 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제4항에 있어서, 상기 제1굽힘조절부가 하향 이동하면, 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부는 제거되고 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부는 유지되어, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제2굴곡변형부에서 분리되고 상기 제1전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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6
제4항에 있어서, 상기 제2굽힘조절부가 상향 이동하면, 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부는 제거되고 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부는 유지되어, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제1굴곡변형부에서 분리되고 상기 제2전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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7
제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이동체의 상기 마이크로 소자는 상기 공급방향을 따라 공급피치로 공급되고, 상기 목표피치는 상기 공급피치의 자연수 배인 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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8
마이크로 소자의 상면에 제1전사필름이 점착되어 일방향으로 공급되는 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름의 상면이 밀착되는 제1밀착부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 상측에 구비되고, 상기 제1전사필름이 상기 제1밀착부에 밀착되면서 굽어져 상향으로 공급되도록 하는 제1당김부; 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로 상의 하측에 구비되고, 상기 마이크로 소자 이송체의 상기 마이크로 소자의 하면에 밀착되도록 공급되는 제2전사필름의 하면이 밀착되는 제2밀착부; 그리고 상기 마이크로 소자 이송체의 공급경로의 전방 하측에 구비되고, 상기 제2전사필름이 상기 제2밀착부에 밀착되면서 굽어져 하향으로 공급되도록 하는 제2당김부를 포함하고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부 중 하나 이상은 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향으로 왕복 이동 및 상하 이동되면서 상기 마이크로 소자 이송체의 상기 마이크로 소자가 상기 제1전사필름 또는 상기 제2전사필름에 전사되어 공급되도록 하며, 상기 제2당김부는 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 빠져나간 마이크로 소자의 바로 후방의 마이크로 소자가 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이로 유입되기 전까지는 상기 제2전사필름이 상기 제1전사필름의 제1공급속도와 다른 크기의 제2공급속도로 공급되도록 하여 목표피치를 조절하는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향을 기준으로 상기 제2밀착부가 상기 제1밀착부보다 상대적으로 후방으로 이동되면, 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부보다 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부가 상대적으로 후방에 배치되고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제2굴곡변형부에서 분리되고 상기 제1전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향을 기준으로 상기 제2밀착부가 상기 제1밀착부보다 상대적으로 전방으로 이동되면, 상기 제1밀착부에 의해 형성된 제1전사필름의 제1굴곡변형부가 상기 제2밀착부에 의해 형성된 제2전사필름의 제2굴곡변형부보다 상대적으로 후방에 배치되고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이를 지나는 상기 마이크로 소자는 상기 제1굴곡변형부에서 분리되고 상기 제2전사필름에 점착되어 공급되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제8항에 있어서, 상기 제1당김부는 상기 제1전사필름이 상기 제1공급속도로 공급되도록 하고, 상기 제2당김부는 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부의 사이에 상기 마이크로 소자가 위치되는 동안에는 상기 제2전사필름이 상기 제1공급속도로 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이동체의 상기 마이크로 소자는 상기 공급방향을 따라 공급피치로 공급되고, 상기 목표피치는 상기 공급피치의 실수 배인 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제1항, 제4항 및 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부는 롤러 및 나이프 에지 중 하나 이상의 형태인 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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제1항, 제4항 및 제8항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 마이크로 소자 이송체의 상기 마이크로 소자는 상기 마이크로 소자 이송체의 공급방향 및 상기 공급방향에 수직한 폭 방향을 따라 복수개가 마련되고, 상기 제1밀착부 및 상기 제2밀착부는 상기 폭 방향을 따라 형성되는 함몰부 및 돌출부를 가지며, 상기 돌출부는 상기 폭 방향으로 마련되는 상기 마이크로 소자 중 전사시킬 마이크로 소자에 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 선택적 전사가 가능한 마이크로 소자 전사장치
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