| 1 |
1
실린더 표면에 패터닝할 나노 패턴을 폴리머 필름에 패터닝하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름을 원통형상의 실린더 내부면에 동일형상으로 부착하는 단계;나노 패턴이 패터닝된 폴리머 필름이 부착된 실린더 내부 중앙에 내부면과 일정 간격 이격되는 원통형상의 구조체를 어셈블링하는 단계;원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 소프트 몰드 제조를 위한 몰드 물질층을 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 단계;를 포함하고,상기 소프트 몰드는 나노 임프린트 공정시에,나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브가 히팅 장비 내부에 위치되고, 폴리머 튜브 내부의 중앙에 소프트 몰드가 결합된 상태에서 히팅 장비를 가열하면서 공기를 주입하여 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 몰드 물질층은,원통형상의 구조체와 폴리머 필름 내부면의 이격 영역에 PDMS(Polydimethylsiloxane)를 채우고 큐어링하여 외부면에 나노패턴이 패터닝되는 실린더 형상의 소프트 몰드를 제조하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드 제조 방법
|
| 3 |
3
나노 임프린트 공정시에 공기를 이용하여 내부에서 가해지는 압력에 의해 외측방향으로 확장되는 소프트 몰드 내부에 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합하는 단계;히팅 장비 내부에 나노임프린팅 대상이 되는 폴리머 튜브를 위치시키고, 폴리머 튜브 내부의 중앙에 결합된 소프트 몰드 및 공기블로워 구조체를 위치시키는 단계;히팅 장비를 가열하면서 공기블로워 구조체를 통하여 공기를 주입하여 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시켜 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서, 나노임프린트를 진행하는 단계에서,폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 나노임프린트를 진행하고 쿨링 공정 및 디몰딩 공정으로 내부면에 나노 패턴이 패터닝된 폴리머 튜브를 분리하여 나노임프린트 공정을 완료하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
| 5 |
5
제 3 항에 있어서, 소프트 몰드 내부에 일정간격으로 복수 개의 공기 배출통로를 갖는 공기블로워 구조체를 결합한 상태에서 클램프로 양측을 밀폐하고, 공기를 주입하여 실린더 형상의 소프트 몰드를 외측 방향으로 확장시키는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
| 6 |
6
제 3 항에 있어서, 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는,원형의 형상으로 동일 크기를 갖고 서로 일정 간격을 갖고 위치되는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
| 7 |
7
제 3 항에 있어서, 공기블로워 구조체의 공기 배출통로는,소프트 몰드에 가해지는 공기 압력을 전체 영역에서 균일하게 하기 위하여 공기블로워 구조체의 양측 입구에서 중앙쪽으로 갈수록 배출통로의 크기를 점차 다르게 하거나, 배출통로가 되는 홀들 간의 이격 거리를 다르게 하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
| 8 |
8
제 3 항에 있어서, 나노임프린트를 진행하는 단계에서,나노임프린트 공정은 히팅 장비 내에서 한번의 공정으로 소프트 몰드의 나노 패턴이 폴리머 튜브의 내부면에 패터닝되도록 하고,히팅 장비는 폴리머 튜브의 외측 프레임에 복수 개의 열선을 구비하는 것을 특징으로 하는 실린더 표면의 나노구조 임프린트를 위한 소프트 몰드를 이용한 나노임프린트 공정 방법
|
