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산화아연 버퍼층을 이용한 대면적 단결정 은 박막 구조체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020003716
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화아연 버퍼층을 이용한 대면적 단결정 은 박막 구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 투명기판, 투명기판 상부에 형성된 산화아연 버퍼층 및 상기 버퍼층 상부에 형성되고, 일정한 방향성을 가지는 단결정 은 박막층을 포함한다. 이는 투명기판 상부에 산화아연 박막을 증착하여 버퍼층을 형성하는 버퍼층 형성단계 및 단결정 은 잉곳 타겟을 사용하여 상기 버퍼층 상부에 단결정 은 박막층을 증착하는 박막층 형성단계를 통해 제조되는 것을 기술적 요지로 한다.
Int. CL H01L 21/28 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01) H01L 21/28194(2013.01)
출원번호/일자 1020180123128 (2018.10.16)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2095580-0000 (2020.03.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.16)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정세영 부산광역시 해운대구
2 정보광 대구광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2018-1017139-83
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0052916-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.06.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0108602-59
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0731385-14
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-1273767-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0031647-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0031666-86
9 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0086887-36
10 등록결정서
Decision to grant		 2020.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0204220-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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사파이어 투명기판 상부에 20℃ 내지 500℃에서 40W로 실시한 스퍼터링 방법으로 산화아연 박막을 증착하여 버퍼층을 형성하는 버퍼층 형성단계; 및초크랄스키법을 통해 성장한 단결정 은 잉곳 타겟을 사용하여 상기 버퍼층 상부에 20℃~500℃에서 10W로 실시한 스퍼터링 방법으로 단결정 은 박막층을 증착하는 박막층 형성단계;로 구성되는 것을 특징으로 하는 산화아연 버퍼층을 이용한 대면적 단결정 은 박막 구조체 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 부산대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 대면적 그래인 프리 금속 박막 및 금속 산화물 박막 성장과 그 응용
2 과학기술정보통신부 부산대학교 산학협력단 연구소재지원사업 국가목적형 단결정은행