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(a)이차원구조의 전이금속 탄화물 및 전이금속 탄질화물로 구성된 맥신용액을 준비하는 단계;(b)상기 준비된 맥신용액을 필름형태의 복합물질로 구성된 맥신필름으로 형성시키는 단계;(c)상기 형성된 맥신필름을 상온에 보관하는 단계;(d)상기 상온 보관을 통해 산화된 맥신필름을 사용하기 위해 진공장비 내에 배치시키는 단계;(e)상기 맥신필름이 배치된 진공장비 내에 수소가스를 주입하는 단계; 및(f)상기 주입된 수소가스에 노출된 맥신필름의 전기적 특성을 산화되기 이전의 수준으로 회복시키도록 상기 맥신필름을 어닐링시키는 단계; 를 포함하며,상기 맥신필름은 900℃의 온도에서 30분간 어닐링을 수행하여 면저항값이 초기값과 비교하여 3
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제 1 항에 있어서, 상기 맥신용액은 Ti2C, Ti3C2, V2C, Nb2C, (Ti0
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제 2 항에 있어서, 상기 맥신용액은 Mn+1Xn의 화학식으로 이루진 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 Mn+1Xn의 화학식에서 M은 앞전이금속인 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 Mn+1Xn의 화학식에서 X는 탄소 및 질소 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 (b) 단계에서,상기 맥신용액은 스핀코팅, 드롭캐스트, 감압여과 방식을 통해 필름형태로 제조된 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (f) 단계를 통해 어닐링된 맥신필름의 면저항값과 (b) 단계를 통해 형성된 맥신필름의 면저항값의 비율은 0
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제 8 항에 있어서, 상기 맥신필름의 표면에 결합된 작용기는 산화 및 환원작용을 통해 플루오린의 비율이 감소되는 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 진공장비는,중공의 원통형상으로 형성된 바디부;상기 바디부의 내부에는 상기 맥신필름이 상단에 배치되도록 구비된 석영관;상기 석영관의 상단에 배치된 맥신필름이 상기 수소가스에 노출되도록 상기 바디부의 일측 하단에는 상기 수소가스가 공급되도록 구비된 가스공급부;상기 가스공급부로부터 공급된 상기 수소가스가 상기 바디부의 내부에 유동되어 상기 맥신필름과 접촉된 후 외부로 배출되도록 상기 바디부의 타측 끝단에 구비된 가스배출부; 및상기 맥신필름이 어닐링되도록 상기 석영관이 배치된 상기 바디부의 측벽을 감싸도록 배치되어 고온으로 가열하는 어닐링부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법
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제 1 내지 제6항 및 제8, 9, 12항 중 어느 한 항에 따른, 상기 2차원 물질의 전기적 특성 회복 및 산화 안정성 개선 방법을 통해 형성된 맥신필름을 통해 전극재료로 구성된 것을 특징으로 하는 맥신소자
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