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이산 사건 명세(DEVS)와 모의 개체 아웃소싱 기반의 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템에 있어서,이산 사건 명세 기반으로 반도체 공정 모델을 생성하는 반도체 공정 모델 관리부;상기 생성된 반도체 공정 모델에 기초하여 시뮬레이션을 수행하는 반도체 공정 시뮬레이션 관리부; 및 상기 시뮬레이션을 위한 아웃소싱의 필요 여부에 따라 아웃소싱을 위한 계약의 체결 또는 해지하는 모의 개체 아웃소싱 관리부 를 포함하고,상기 반도체 공정 모델 관리부는, 반도체 공정 사용자로부터 이산 사건 명세 규격에 기초하여 입력 받은 정보를 이용하여 반도체 공정을 구성하는 모의 개체를 생성하고, 생성된 모의 개체를 기반으로 시뮬레이션을 구성하기 위한 반도체 공정 모델을 설계하고, 상기 설계된 공정 모델을 통하여 반도체 공정 모델의 정보를 획득하고, 상기 획득한 공정 모델의 정보와 반도체 공정 사용자가 명세한 결합 관계 정보를 참조하여 모의 구조를 생성하는 것을 포함하고, 상기 반도체 공정 시뮬레이션 관리부는,상기 생성된 반도체 공정 모델에 기반하여 가상 공정을 위한 시뮬레이션 환경을 구성하고, 상기 가상 공정을 위한 시뮬레이션을 수행하기 위하여 상기 반도체 공정 모델을 구성하는 모의 개체에 대한 아웃소싱의 필요 여부를 판단하고, 상기 아웃소싱이 필요한 경우에 타 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션에 발주하거나 또는 제안을 제출하여 호환 가능한 타 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템과의 아웃소싱 계약을 수행하고, 상기 아웃소싱이 필요하지 않거나 또는 아웃소싱 계약이 완료된 경우, 시뮬레이션 환경 구성이 완료됐는지 여부를 판단하고, 상기 시뮬레이션 환경 구성이 완료됐을 경우, 상기 구성된 시뮬레이션 환경에 기초하여 시뮬레이션을 시작하고, 상기 구성된 시뮬레이션 환경에 기초하여 시뮬레이션을 시작함에 따라 반도체 공정 사용자 또는 아웃소싱의 계약을 체결한 다른 시스템에 상기 가상 공정의 수행 상태를 포함하는 시뮬레이션 정보를 중계하고, 상기 시뮬레이션을 수행함에 따라 상기 가상 공정의 수행 상태를 포함하는 시뮬레이션 정보와 관련된 분석을 수행한 분석 결과를 제공하는 것을 포함하고, 상기 모의 개체 아웃소싱 관리부는,상기 반도체 공정 모델을 구성하는 모의 개체와 관련된 아웃소싱 계약을 위한 요청에 대한 응답에 기초하여 아웃소싱 제안의 수신 여부를 판단하고, 상기 아웃소싱 제안을 수신하지 못한 경우, 상기 아웃소싱 발주를 철회하고, 상기 아웃소싱 제안을 수신한 경우, 아웃소싱 제안 정보를 열람하여 상기 모의 개체의 호환성을 비교 분석하고, 상기 아웃소싱 계약을 체결하여 둘 이상의 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템 간의 연동 협업 구조 및 환경을 형성하는 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템
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제 1항에 있어서,상기 모의 개체 아웃소싱 관리부는,상기 모의 개체의 호환성을 비교 분석한 결과에 기초하여 아웃소싱 계약을 체결하는 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템
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이산 사건 명세(DEVS)와 모의 개체 아웃소싱 기반의 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 방법에 있어서, 이산 사건 명세 기반으로 반도체 공정 모델을 생성하는 단계;상기 생성된 반도체 공정 모델에 기초하여 시뮬레이션을 수행하는 단계; 및 상기 시뮬레이션을 위한 아웃소싱의 필요 여부에 따라 아웃소싱을 위한 계약의 체결 또는 해지하는 단계 를 포함하고,상기 이산 사건 명세 기반으로 반도체 공정 모델을 생성하는 단계는, 반도체 공정 사용자로부터 이산 사건 명세 규격에 기초하여 입력 받은 정보를 이용하여 반도체 공정을 구성하는 모의 개체를 생성하고, 생성된 모의 개체를 기반으로 시뮬레이션을 구성하기 위한 반도체 공정 모델을 설계하고, 상기 설계된 공정 모델을 통하여 반도체 공정 모델의 정보를 획득하고, 상기 획득한 공정 모델의 정보와 반도체 공정 사용자가 명세한 결합 관계 정보를 참조하여 모의 구조를 생성하는 단계를 포함하고, 상기 생성된 반도체 공정 모델에 기초하여 시뮬레이션을 수행하는 단계는, 상기 생성된 반도체 공정 모델에 기반하여 가상 공정을 위한 시뮬레이션 환경을 구성하고, 상기 가상 공정을 위한 시뮬레이션을 수행하기 위하여 상기 반도체 공정 모델을 구성하는 모의 개체에 대한 아웃소싱의 필요 여부를 판단하고, 상기 아웃소싱이 필요한 경우에 타 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션에 발주하거나 또는 제안을 제출하여 호환 가능한 타 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템과의 아웃소싱 계약을 수행하고, 상기 아웃소싱이 필요하지 않거나 또는 아웃소싱 계약이 완료된 경우, 시뮬레이션 환경 구성이 완료됐는지 여부를 판단하고, 상기 시뮬레이션 환경 구성이 완료됐을 경우, 상기 구성된 시뮬레이션 환경에 기초하여 시뮬레이션을 시작하고, 상기 구성된 시뮬레이션 환경에 기초하여 시뮬레이션을 시작함에 따라 반도체 공정 사용자 또는 아웃소싱의 계약을 체결한 다른 시스템에 상기 가상 공정의 수행 상태를 포함하는 시뮬레이션 정보를 중계하고, 상기 시뮬레이션을 수행함에 따라 상기 가상 공정의 수행 상태를 포함하는 시뮬레이션 정보와 관련된 분석을 수행한 분석 결과를 제공하는 단계를 포함하고, 상기 시뮬레이션을 위한 아웃소싱의 필요 여부에 따라 아웃소싱을 위한 계약의 체결 또는 해지하는 단계는,상기 반도체 공정 모델을 구성하는 모의 개체와 관련된 아웃소싱 계약을 위한 요청에 대한 응답에 기초하여 아웃소싱 제안의 수신 여부를 판단하고, 상기 아웃소싱 제안을 수신하지 못한 경우, 상기 아웃소싱 발주를 철회하고, 상기 아웃소싱 제안을 수신한 경우, 아웃소싱 제안 정보를 열람하여 상기 모의 개체의 호환성을 비교 분석하고, 상기 아웃소싱 계약을 체결하여 둘 이상의 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 시스템 간의 연동 협업 구조 및 환경을 형성하는 단계 를 포함하는 반도체 공정 모델링 및 시뮬레이션 방법
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