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자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법으로서, 자기 유변 유체를 준비하는 단계;상기 자기 유변 유체를 에탄올에 분사된 메타크릴산 용액에 첨가한 후 음파처리를 수행하는 제1 음파 처리 단계;VTMOS(Vinyltrimethoxysilane)를 상기 에탄올에 분산시키고, 상기 VTMOS(Vinyltrimethoxysilane)를 상기 제1 음파 처리를 수행한 상기 메타크릴산 용액에 첨가한 후, 음파처리를 수행하는 제2 음파 처리 단계; 상기 자성물질입자 표면에 실란기능기가 도입되도록 상기 에탄올로 세척하는 제1 세척 단계; TEOS(tetraethoxysilane)을 50mL 에탄올에 분산시킨 후 표면에 실란기능기가 도입된 상기 자성물질입자를 넣어 교반하는 제1 교반단계;상기 TEOS(tetraethoxysilane)가 실리카로 변환되도록 하는 졸겔 변환단계; 상기 졸겔 변환단계가 완료된 후, 상기 TEOS(tetraethoxysilane)를 교반하는 제2 교반단계; 및상기 실리카가 코팅된 상기 자성물질입자를 건조시키는 건조 단계를 포함하는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 교반단계에서 미반응된 상기 자성물질입자를 상기 에탄올에 의해 세척하는 제2 세척 단계를 더 포함하는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제2항에 있어서, 상기 자성물질입자는,카르보닐 철을 포함하는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제1항에 있어서,상기 제1 음파 처리 단계와 상기 제2 음파 처리 단계는,각각 30분간 이루어지는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 교반 단계는,300 내지 500 rpm으로 동작하는 교반기에 의해 이루어지는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 졸겔 변환 단계는,축합반응 및 가수분해를 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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제5항에 있어서, 상기 제2 교반 단계는,24시간 동안 수행되는 자기 유변 유체가 포함하는 자성물질입자의 표면 코팅층 형성방법
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연마 대상물의 표면을 평면으로 연마하는 장치로서, 원반 형상으로, 수직으로 배치되는 중심축을 기준으로 회전 가능하게 구성되는 연마휠;상기 연마휠의 상부면으로 상기 제1항에 의해 제조된 코팅층이 표면에 형성된 자성물질입자를 포함하는 자기 유변 유체를 공급하는 유체 공급부;상기 연마휠의 하부에 배치되어 상기 연마휠의 상부면으로 공급된 상기 자기 유변 유체에 대하여 자력을 인가하는 복수개의 단위 자석편을 포함하는 자기 공급부;상기 연마휠의 상부면에 공급된 상기 자기 유변 유체를 회수하는 유체 회수부; 및상기 연마 대상물을 상기 연마휠의 상부면으로 이동시키고, 상기 연마휠의 상부면 상에서 상기 연마 대상물을 회전 및 일정 거리만큼 왕복 이동시키는 공작물 이동부;를 포함하고, 상기 연마휠의 외주측으로 배치되는 상기 단위 자석편의 자력은 상기 연마휠의 내측으로 배치되는 상기 단위 자석편의 자력보다 큰 평면 연마 장치
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제8항에 있어서, 상기 유체 공급부는,상기 자기 유변 유체를 저장하는 자기유변유체 저장탱크와,상기 자기 유변 유체를 상기 연마휠의 상부면으로 공급하는 공급 노즐을 포함하는 평면 연마 장치
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제9항에 있어서, 상기 유체 공급부는,연마 슬러리를 저장하는 연마 슬러리 저장탱크와, 상기 자기 유변 유체와 상기 연마 슬러리를 혼합한 연마 유체를 상기 공급 노즐로 공급하는 믹서를 더 포함하는 평면 연마 장치
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제10항에 있어서, 상기 공급 노즐은,상기 연마휠의 중심축에서 상기 연마휠의 외주측까지 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체를 공급하도록 평행하게 배치되는 복수의 단위 공급 노즐을 포함하는 평면 연마 장치
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제11항에 있어서, 복수의 상기 단위 공급 노즐은,상기 연마휠의 중심축에서 상기 연마휠의 외주측으로 갈수록 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체의 공급량이 증가하는 평면 연마 장치
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제11항에 있어서, 상기 복수개의 단위 자석편은,매트릭스 형태로 배치되는 평면 연마 장치
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제13항에 있어서, 상기 복수개의 단위 자석편의 배치 폭은, 상기 공급 노즐을 통한 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체의 공급폭에 대응하는 평면 연마 장치
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제9항에 있어서, 상기 유체 회수부는,연마면 상에서 연마에 사용된 상기 자기 유변 유체 또는 연마 유체를 흡입하는 흡입 노즐과,상기 흡입 노즐로 흡입력을 제공하는 흡입 펌프와,상기 흡입 노즐을 통해 흡입된 상기 연마 유체에서 평면 연마 중 분쇄된 연마 슬러리를 분리한 후, 상기 연마 유체를 상기 유체 공급부로 공급하는 컨디셔너(conditioner)를 포함하는 평면 연마 장치
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제16항에 있어서, 상기 유체 공급부로 공급되는 상기 자기 유변 유체 또는 상기 연마 유체를 임시 보관하는 임시 보관 탱크를 더 포함하는 평면 연마 장치
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제16항에 있어서, 상기 흡입 노즐의 폭은,상기 공급 노즐의 폭에 대응하는 평면 연마 장치
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제8항에 있어서, 상기 공작물 이동부는,상기 연마 대상물을 고정하는 고정 유닛과,상기 고정 유닛을 회전시키는 회전 유닛과, 상기 연마 대상물을 상기 연마휠로 이동시키거나 상기 연마휠에서 이격시키는 제1 이동 유닛과, 상기 연마휠 상에서 상기 연마 대상물을 일정 범위 내에서 왕복 이동시키는 제2 이동 유닛을 포함하는 평면 연마 장치
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제19항에 있어서, 상기 제2 이동 유닛의 왕복 이동 경로는,상기 연마휠의 중심축과 교차하는 직선으로 이루어지는 평면 연마 장치
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제20항에 있어서, 상기 제2 이동 유닛의 왕복 이동 경로의 길이는,상기 연마휠로 공급된 연마 유체의 공급폭에 대응하는 평면 연마 장치
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