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기판;상기 기판 상에 배치되고, 제 1 방향으로 이격하는 하부 지지대들;상기 하부 지지대들 상에 배치되고, 외부의 파워에 의해 제 1 공진 주파수의 진동을 생성하는 엑츄에이터;상기 액츄에이터 상에 배치되고, 상기 액츄에이터를 따라 진동되는 진동 플레이트; 및상기 진동 플레이트 상에 배치되고, 상기 액츄에이터 및 상기 진동 플레이트를 따라 진동되는 질량 부를 포함하되,상기 진동 플레이트와 상기 질량 부는 상기 제 1 공진 주파수보다 작은 제 2 공진 주파수를 갖는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 액츄에이터와 상기 진동 플레이트 사이에 배치되고, 상기 제 1 방향으로 이격하는 상부 지지대들을 더 포함하는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 질량 부는 상기 진동 플레이트의 면적의 절반 이하로 작은 면적을 갖는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 복수개가 제공되고,상기 복수개의 액츄에이터들은 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 이격하는 진동 출력 소자
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제 4 항에 있어서, 상기 진동 플레이트는 상기 복수개의 액츄에이터들 사이에 배치되는 진동 출력 소자
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제 4 항에 있어서, 상기 복수개의 액츄에이터들과 상기 하부 지지대들 사이에 배치된 지지 플레이트를 더 포함하는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 질량 부는 상기 하부 지지대들 사이의 상기 진동 플레이트 내에 배치되는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 복수개가 제공되고,상기 복수개의 액츄에이터들은 적층되는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 진동 플레이트는 5Ⅹ5mm2 이하의 면적을 갖는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 질량 부는 상기 기판으로부터 5mm 이하의 높이를 갖는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 공진 주파수는 600Hz 이하인 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 진동 플레이트는 PDMS, Polyimide, PMMA, Silicone, 또는 Ecoflex를 포함하는 진동 출력 소자
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제 12 항에 있어서, 상기 진동 플레이트는 탄성 중합체를 더 포함하는 진동 출력 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 액츄에이터는 압전 소자를 포함하는 진동 출력 소자
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