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타원 계측기의 데이터 분석 방법
- 기술번호 : KST2020004594
- 담당센터 : 경기기술혁신센터
- 전화번호 : 031-8006-1570
| 요약 | 본 발명은, 본 발명은, 광 검출기가 시료에서 반사된 반사광의 세기를 검출하는 제1 단계와, 편광 변환 소자의 회전각에 대한 회전 변수와 광원의 파장에 대한 파장 변수 또는 시료 상의 위치에 대한 위치 변수가 분리되도록 반사광의 광 세기 함수를 정의하는 제2 단계와, 반사광의 세기와 광 세기 함수를 기초로, 회전 변수를 변수로 하는 회전 오차 함수를 정의하고, 파장 변수를 변수로 하는 파장 오차 함수 또는 위치 변수를 변수로 하는 위치 오차 함수를 정의하는 제3 단계와, 편광 변환 소자의 회전에 따라 파장 오차 함수에 최소 제곱법을 적용하여 회전각을 각각 산출하거나, 물체 상의 위치에 따라 위치 오차 함수에 최소 제곱법을 적용하여 회전각을 산출하는 제4 단계와, 회전 오차 함수에 최소 제곱법을 적용하되 제4 단계에서 산출된 회전각을 회전 변수에 적용하여 광 세기 함수의 퓨리에 계수를 산출하는 제5 단계를 포함하는 타원 계측기의 데이터 분석 방법을 제공한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01N 21/21 (2006.01.01) G01B 11/06 (2006.01.01) G01J 3/447 (2006.01.01) |
| CPC | G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020190024097 (2019.02.28) |
| 출원인 | 한국생산기술연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-2109540-0000 (2020.05.06) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20200512) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2019.02.28) |
| 심사청구항수 | 4 |