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불균형 비대칭 동축 피드(unbalanced asymmetric coaxial feed)를 갖는 도파관(waveguide); 및상기 도파관에 형성되는 두 쌍의 리지들(ridges)을 포함하고,상기 도파관의 중심에서 상기 두 쌍의 리지들 중 제1 쌍의 리지들과 연결되는 제1 중심 도체; 및상기 도파관의 중심에서 상기 두 쌍의 리지들 중 제2 쌍의 리지들과 연결되는 제2 중심 도체를 더 포함하고,상기 도파관은리어(rear) 단부에 불균형 동축 피드를 균형 피드로 변환하는 단락 공동(short cavity)이 형성되며,상기 도파관은직교 평면에서 상기 불균형 비대칭 동축 피드를 포함하는 피더 섹션과 안테나 섹션을 포함하고,상기 두 쌍의 리지들은상기 피더 섹션과 상기 안테나 섹션에 모두 형성되며,상기 도파관은상기 변환된 균형 피드를 상기 피더 섹션에서 상기 안테나 섹션으로 피드하고,상기 두 쌍의 리지들은상기 피더 섹션과 상기 안테나 섹션에 단일 피스로 프로파일되는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제1항에 있어서,상기 불균형 비대칭 동축 피드는한 쌍의 리지들 중 대향 리지(opposite ridge)를 통과하여 해당 리지의 스크류 잭에 삽입되는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제1항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은지수 프로파일(exponential profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제3항에 있어서,상기 도파관은상기 도파관의 개방 단부 방향으로 상기 지수 프로파일에 따른 상기 도파관의 지름이 증가하고, 상기 두 쌍의 리지들 간의 거리가 증가하는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제4항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은상기 도파관의 개방 단부에서 일정 거리 이격된 위치에서 상기 도파관과 합쳐지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제5항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은상기 도파관의 길이 축에 따라 공간적인 분리없이 상기 도파관과 합쳐지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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7
제3항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은지수 테이퍼 형태의 프로파일(exponential tapered profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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8
제1항에 있어서,상기 도파관은지수 프로파일(exponential profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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제8항에 있어서,상기 도파관은지수 테이퍼 형태의 프로파일(exponential tapered profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 쿼드 리지 프로브 안테나
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챔버(chamber) 내에 배치된 다수의 쿼드 리지 프로브 안테나들을 포함하고,상기 쿼드 리지 프로브 안테나들 각각은불균형 비대칭 동축 피드(unbalanced asymmetric coaxial feed)를 갖는 도파관(waveguide);상기 도파관에 형성되는 두 쌍의 리지들(ridges)상기 도파관의 중심에서 상기 두 쌍의 리지들 중 제1 쌍의 리지들과 연결되는 제1 중심 도체; 및상기 도파관의 중심에서 상기 두 쌍의 리지들 중 제2 쌍의 리지들과 연결되는 제2 중심 도체을 포함하며,상기 도파관은리어(rear) 단부에 불균형 동축 피드를 균형 피드로 변환하는 단락 공동(short cavity)이 형성되며,상기 도파관은직교 평면에서 상기 불균형 비대칭 동축 피드를 포함하는 피더 섹션과 안테나 섹션을 포함하고,상기 두 쌍의 리지들은상기 피더 섹션과 상기 안테나 섹션에 모두 형성되며,상기 도파관은상기 변환된 균형 피드를 상기 피더 섹션에서 상기 안테나 섹션으로 피드하고,상기 두 쌍의 리지들은상기 피더 섹션과 상기 안테나 섹션에 단일 피스로 프로파일되는 측정 시스템
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제11항에 있어서,상기 불균형 비대칭 동축 피드는한 쌍의 리지들 중 대향 리지(opposite ridge)를 통과하여 해당 리지의 스크류 잭에 삽입되는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제11항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은지수 프로파일(exponential profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제13항에 있어서,상기 도파관은상기 도파관의 개방 단부 방향으로 상기 지수 프로파일에 따른 상기 도파관의 지름이 증가하고, 상기 두 쌍의 리지들 간의 거리가 증가하는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제14항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은상기 도파관의 개방 단부에서 일정 거리 이격된 위치에서 상기 도파관과 합쳐지고, 상기 도파관의 길이 축에 따라 공간적인 분리없이 상기 도파관과 합쳐지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제13항에 있어서,상기 두 쌍의 리지들은지수 테이퍼 형태의 프로파일(exponential tapered profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제11항에 있어서,상기 도파관은지수 프로파일(exponential profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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제17항에 있어서,상기 도파관은지수 테이퍼 형태의 프로파일(exponential tapered profile)을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 시스템
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