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XY 스테이지에 결합되어 노광 타겟 위를 움직이며 노광하는 노광 헤드에 있어서,상기 노광 타겟을 향해 빛을 조사하는 광원 유닛; 상기 광원 유닛에 결합되며 기준면과 나란한 제1 회전축을 포함하는 틸트각 조절부; 상기 틸트각 조절부에 결합되며 상기 기준면과 나란하고 상기 제1 회전축과 직교하는 선형 레일을 포함하는 선형 이동부; 상기 선형 이동부에 결합되며 상기 제1 회전축 및 상기 선형 레일과 직교하는 제2 회전축을 포함하는 회전각 조절부를 포함하고,상기 광원 유닛은 상기 제1 회전축의 회전에 의해 틸트각이 조절되며, 상기 선형 레일을 따라 직선 이동하고, 상기 제2 회전축의 회전에 의해 회전각이 조절되는 경사-회전 노광 헤드
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제1항에 있어서,상기 광원 유닛은 회로 기판에 실장된 복수의 발광 소자와, 회로 기판을 지지하는 지지체를 포함하고,상기 복수의 발광 소자는 같은 밝기로 발광하거나 개별적으로 밝기가 제어되는 경사-회전 노광 헤드
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제2항에 있어서,상기 노광 타겟은 다양한 크기로 교체 가능하고,상기 광원 유닛은 교체 가능한 여러 가지 크기의 노광 타겟 중 최대 노광 타겟보다 작은 소형으로 제작되는 경사-회전 노광 헤드
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제2항에 있어서,상기 제1 회전축은 상기 지지체에 고정되고,상기 틸트각 조절부는 상기 제1 회전축을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 회전축에 결합되어 상기 제1 회전축에 회전 동력을 제공하는 제1 구동부를 더 포함하는 경사-회전 노광 헤드
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제4항에 있어서,상기 선형 레일은 상기 제1 지지부와 결합되고,상기 선형 이동부는 상기 선형 레일을 구비한 제2 지지부와, 상기 제1 지지부와 결합되어 상기 선형 레일을 따라 상기 제1 지지부를 직선 이동시키는 제2 구동부를 더 포함하는 경사-회전 노광 헤드
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제5항에 있어서,상기 제2 구동부는 볼나사 너트를 내장한 이동 블록과, 볼나사 너트를 관통하는 볼나사와, 볼나사의 일단에 결합된 모터를 포함하며,상기 제1 지지부는 상기 이동 블록의 하면에 고정되는 경사-회전 노광 헤드
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제5항에 있어서,상기 제2 회전축은 상기 제2 지지부의 상면에 고정되고,상기 회전각 조절부는 상기 제2 회전축을 지지하는 제3 지지부와, 상기 제2 회전축에 결합되어 상기 제2 회전축에 회전 동력을 제공하는 제3 구동부를 더 포함하는 경사-회전 노광 헤드
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XY 스테이지에 결합되어 노광 타겟 위를 움직이며 노광하는 노광 헤드에 있어서,상기 노광 타겟을 향해 빛을 조사하는 광원 유닛;상기 광원 유닛에 결합되며 기준면과 나란한 제1 회전축과, 제1 회전축을 회전시키는 제1 구동부를 포함하는 틸트각 조절부;상기 기준면과 나란하고 상기 제1 회전축과 직교하는 선형 레일과, 선형 레일을 따라 상기 광원 유닛과 상기 틸트각 조절부를 이동시키는 제2 구동부를 포함하는 선형 이동부;상기 제1 회전축 및 상기 선형 레일과 직교하는 제2 회전축을 구비하며, 상기 광원 유닛과 상기 틸트각 조절부 및 상기 선형 이동부를 회전시키는 회전각 조절부; 및상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부와 전기적으로 연결되며, 상기 광원 유닛의 광축이 항상 기준점을 향하도록 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부를 연동하여 제어하는 광축 제어부를 포함하는 경사-회전 노광 헤드
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제8항에 있어서,상기 기준점은 상기 제2 회전축의 중심이 노광 타겟과 만나는 지점이고,상기 광축 제어부는 하기 수식 (1)을 만족하도록 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부를 연동하여 제어하는 경사-회전 노광 헤드
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XY 스테이지;상기 XY 스테이지에 결합되며, 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 경사-회전 노광 헤드;상기 경사-회전 노광 헤드를 촬영하는 카메라;상기 XY 스테이지와 상기 경사-회전 노광 헤드 및 상기 카메라와 전기적으로 연결된 장치 제어부; 및상기 장치 제어부와 무선 통신으로 연결되며, 상기 카메라가 촬영한 영상 정보를 표시하는 표시부와, 상기 장치 제어부를 통해 상기 XY 스테이지와 상기 경사-회전 노광 헤드의 작동을 제어하는 원격 조작부를 포함하는 사용자 기기를 포함하는 사물인터넷 노광 장비
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제10항에 있어서,상기 경사-회전 노광 헤드에 설치되고, 상기 광원 유닛에서 방출되는 빛을 감지하며, 감지 신호를 상기 장치 제어부로 출력하는 동작 센서를 더 포함하고,상기 장치 제어부는 노광 시 상기 동작 센서의 감지 신호가 단절되거나 단절 시간이 기 실정된 시간을 초과하는 경우 상기 사용자 기기로 알람 신호를 출력하는 사물인터넷 노광 장비
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제10항에 있어서,상기 노광 타겟과 거리를 두고 위치하고, 상기 광원 유닛의 틸트각 변화에 따른 빛의 세기 변화를 측정하며, 측정 신호를 상기 장치 제어부로 출력하는 파워 센서를 더 포함하고,상기 장치 제어부는 상기 광원 유닛의 틸트각이 커질수록 노광 시간을 늘리도록 상기 광원 유닛의 작동을 제어하는 사물인터넷 노광 장비
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제10항에 있어서,상기 XY 스테이지는, 상기 XY 스테이지와 상기 경사-회전 노광 헤드 사이에 설치되어 상기 XY 스테이지에 대해 상기 경사-회전 노광 헤드를 Z축 방향으로 이동시키는 제1 이동부와, 상기 XY 스테이지 전체를 Z축 방향으로 이동시키는 제2 이동부 중 적어도 하나를 포함하는 사물인터넷 노광 장비
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14
제10항에 있어서,상기 경사-회전 노광 헤드는 상기 XY 스테이지 상에 서로간 거리를 두고 배치된 제1 경사-회전 노광 헤드와 제2 경사-회전 노광 헤드를 포함하는 사물인터넷 노광 장비
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15
제14항에 있어서,상기 제1 경사-회전 노광 헤드와 상기 제2 경사-회전 노광 헤드는 서로 다른 파장의 빛을 방출하는 사물인터넷 노광 장비
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