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고밀착력 초고경도 슈퍼코팅막 제조방법

  • 기술번호 : KST2020006502
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 다성분계 코팅막 증착방법은, 이온 충돌을 통해 대상모재의 표면에 에칭을 수행하는 (a)단계 및 아킹 현상에 의해 타겟을 이온화시키고, 상기 대상모재 표면에 복수의 레이어를 기 설정된 순서로 증착하여 다성분계 코팅막을 형성하는 (b)단계를 포함한다.
Int. CL C23C 14/32 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/02 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01)
CPC C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01) C23C 14/325(2013.01)
출원번호/일자 1020180152938 (2018.11.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0066489 (2020.06.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김왕렬 경상남도 양산
2 박인욱 부산광역시 해운대구
3 허성보 부산광역시 사상구
4 김현동 경상남도 양산

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-1203950-58
2 보정요구서
Request for Amendment		 2018.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0192984-11
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2018.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-1232641-24
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0063123-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0353930-45
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0764509-18
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0764541-70
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0533160-73
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번호 청구항
1 1
이온 충돌을 통해 대상모재의 표면에 에칭을 수행하는 (a)단계; 및아킹 현상에 의해 타겟을 이온화시키고, 상기 대상모재 표면에 복수의 레이어를 기 설정된 순서로 증착하여 다성분계 코팅막을 형성하는 (b)단계;를 포함하며,상기 (b)단계는,상기 대상모재 표면에 밀착층을 형성하는 (b-1)단계;상기 밀착층 상에 하지 지지층을 형성하는 (b-2)단계; 및상기 하지 지지층 상에 기능성 표면층을 형성하는 (b-3)단계;를 포함하되,상기 (b-1)단계, 상기 (b-2)단계 및 상기 (b-3)단계는 반복적으로 복수 회 수행됨에 따라, 연속적으로 적층되는 상기 복수 개의 밀착층 상부에 상기 복수 개의 하지 지지층이 연속적으로 적층되고, 연속적으로 적층된 상기 하지 지지층의 상부에 상기 복수 개의 기능성 표면층이 연속적으로 적층되도록 하는 다성분계 코팅막 증착방법
2 2
제1항에 있어서,상기 (a)단계는 선형이온원을 통해 불활성기체를 이온화시키고, 이온화된 입자를 상기 대상모재의 표면에 충돌시켜 에칭을 수행하는 다성분계 코팅막 증착방법
3 3
제2항에 있어서,상기 (a)단계는 5mTorr의 압력 분위기에서 수행되는 다성분계 코팅막 증착방법
4 4
제2항에 있어서,상기 (a)단계는 상기 선형이온원에 0
5 5
제1항에 있어서,상기 (a)단계는 아크증발원을 통해 타겟을 이온화시켜 대상모재의 표면에 에칭을 수행하는 다성분계 코팅막 증착방법
6 6
제5항에 있어서,상기 타겟은 Cr타겟이며,상기 (a)단계는 상기 타겟에 70~100A의 전류를 인가하는 다성분계 코팅막 증착방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 밀착층은 Cr 및 CrN 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 다성분계 코팅막 증착방법
10 10
제1항에 있어서,상기 하지 지지층은 TiAlN 및 TiCrAlN 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 다성분계 코팅막 증착방법
11 11
제1항에 있어서,상기 기능성 표면층은 TiCrAlSiN을 포함하는 다성분계 코팅막 증착방법
12 12
제1항에 있어서,상기 (b)단계는 3~10mTorr의 압력 분위기, 300~400℃의 온도 조건 하에서 수행되는 다성분계 코팅막 증착방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국야금(주) 첨단공구산업기술고도화 항공·에너지 플랜트 고경도 내열합금 가공용 코팅초경/cBN/세라믹스 공구 개발