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전이금속 상에 형성된 전이금속 칼코겐 화합물을 포함하고,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 패턴화된 것이고,상기 패턴화는 요철(凹凸) 구조를 포함하는 것이고,상기 요철 구조는 10 nm 내지 50 nm 의 피치를 가지는 것인,수소 발생용 촉매
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속은 상기 전이금속 칼코겐 화합물과 동일하게 패턴화된 것인, 수소 발생용 촉매
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 레늄(Re), 탄탈럼(Ta), 티타늄(Ti), 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 전이금속을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매
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제 1 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, ReS2, ReSe2, ReTe2, TaS2, TaSe2, TaTe2, TiS2, TiSe2, TiTe2, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매
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7
기판 상에 물리기상증착법을 이용하여 전이금속을 증착하는 단계;상기 전이금속 상에 칼코겐 소스를 제공하여 화학기상증착법을 이용하여 전이금속 칼코겐 화합물을 증착하는 단계;상기 전이금속 칼코겐 화합물 상에 보호층을 적층하는 단계;상기 보호층 상에 블록공중합체를 적층하는 단계;상기 블록공중합체가 자기조립(self-assembly) 되어 다공성 구조를 가지는 패턴을 형성하는 단계;상기 패턴에 따라 상기 보호층을 패턴화하는 단계; 및상기 패턴화된 보호층을 마스크로 하여 상기 전이금속 칼코겐 화합물을 패턴화하는 단계를 포함하는, 제 1 항에 따른 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐 화합물을 패턴화하는 단계에 의해 상기 전이금속이 패턴화되는 것을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 블록공중합체는 열처리 또는 광처리에 의해 자기조립 되는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 블록공중합체가 자기조립 되어 다공성 구조를 가지는 패턴을 형성하는 단계에서 상기 다공성 구조의 크기를 조절하는 것을 포함하는, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 블록공중합체는 PS-b-PMMA, PS-r-PMMA, PS-b-PBMA, PS-b-P2VP, PS-b-P4VP, PS-b-PB, PEO-b-PIP, PB-b-PEO, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 물질을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 블록공중합체는 10 nm 내지 60 nm 의 두께를 가지는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 칼코겐 소스는 황(S), 텔루륨(Te), 셀레늄(Se), 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 칼코겐 소스는 고체 상태 또는 기체 상태인 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 물리기상증착법은 스퍼터링 방법, 전자빔 증착 방법, 열증착 방법, 이온클러스터빔, 펄스 레이저 증착 방법, 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 방법에 의해 수행되는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 보호층은 SiO2, Al2O3, ZrO2, Si3N4, SiC, AlN, Fe2O3, ZnO, BN, Si3N4, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 세라믹을 포함하는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 16 항에 있어서,상기 보호층은 친수성 작용기가 있는 세라믹을 이용하여 상기 전이금속 칼코겐 화합물 상에 상기 블록공중합체를 적층할 수 있도록 유도하는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 패턴화는 반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching, RIE), 반응성 플라스마 에칭(Reactive Plasma Etching, RPE), 스퍼터 에칭(Sputter Etching), 증기상 에칭(Vapor Phase Etching), 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택된 방법에 의해 수행되는 것인, 수소 발생용 촉매의 제조 방법
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