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광대역 광원;상기 광대역 광원의 광대역 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 광 분할기;상기 기준 빔을 반사시키는 기준 경로 거울;상기 측정 빔을 반사시키는 측정 경로 거울;상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준 빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 광 분할기;상기 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부; 및상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 적어도 하나의 경로에 삽입되어 상기 기준 경로와 상기 측정 경로 사이의 광 경로 차이를 제공하는 광 위상 지연 소자를 포함하고,상기 측정 대상은 상기 측정 경로에 배치되고,제1 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 없는 경우, 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이이고, 상기 제1 광 경로 차이는 영이 아닌 유한한 값을 가지고,제2 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 있는 경우, 상기 측정 빔이 측정 대상을 반사없이 투과한 광과 상기 측정 대상 내에서 한 차례의 반사되어 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,제3 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 있는 경우, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 제2 광 경로 차이가 상기 제3 광 경로 차이가 일치하여 두께 측정 불가 조건에 도달한 경우, 상기 광 위상 지연 소자는 상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 하나의 경로에 삽입되고,제1 수정 광 경로 차이는 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에서 제거한 상태에서 간섭신호로부터 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이이고, 제3 수정 광 경로 차이는 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에 삽입된 상태에서, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 기준 경로와 상기 측정 경로는 사각형을 형성하도록 배치되고,상기 광 위상 지연 소자는 상기 측정 경로에 삽입된 경우, 상기 제1 수정 광 경로 차이를 상기 광 위상 지연 소자가 없는 상태의 상기 제1 광 경로 차이를 2 배 이상으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 광 위상 지연 소자는 투광성 윈도우 또는 전기 신호에 따라 굴절률이 변하는 전기 광학 소자인 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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광대역 광원;상기 광대역 광원의 광대역 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 광 분할기;상기 기준 빔을 반사시키는 기준 경로 거울;상기 측정 빔을 반사시키는 측정 경로 거울;상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준 빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 광 분할기;상기 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부; 및상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 적어도 하나의 경로에 삽입되어 상기 기준 경로와 상기 측정 경로 사이의 광 경로 차이를 제공하는 광 위상 지연 소자를 포함하고,상기 측정 대상은 상기 측정 경로에 배치되고,제1 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 없는 경우, 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이이고, 상기 제1 광 경로 차이는 영이 아닌 유한한 값을 가지고,제2 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 있는 경우, 상기 측정 빔이 측정 대상을 반사없이 투과한 광과 상기 측정 대상 내에서 한 차례의 반사되어 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,제3 광 경로 차이는 상기 측정 대상이 있는 경우, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 제2 광 경로 차이가 상기 제3 광 경로 차이가 일치하여 두께 측정 불가 조건에 도달한 경우, 상기 광 위상 지연 소자는 상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 하나의 경로에 삽입되고,제1 수정 광 경로 차이는 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에서 제거한 상태에서 간섭신호로부터 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이이고, 제3 수정 광 경로 차이는 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에 삽입된 상태에서, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 기준 경로와 상기 측정 경로는 사각형을 형성하도록 배치되고, 상기 광 위상 지연 소자는 복수의 투광성 윈도우들을 포함하고, 상기 복수의 투광성 윈도우들은 서로 다른 광 경로 차이를 제공하도록 서로 다른 두께 또는 굴절률을 가지고,상기 광 위상 지연 소자는 상기 투광성 윈도우들 중에서 하나를 선택할 수 있도록 회전할 수 있는 휠에 장착되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 기준 빔 또는 상기 측정 빔을 모니터링하여 정렬과 상기 측정 대상의 각도를 확인할 수 있는 정렬 광측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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광대역 광원; 상기 광대역 광원의 광대역 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 광 분할기; 상기 기준 빔을 반사시키는 기준 경로 거울; 상기 측정 빔을 반사시키는 측정 경로 거울; 상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준 빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 광 분할기; 상기 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부; 및 상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 적어도 하나의 경로에 삽입되어 상기 기준 경로와 상기 측정 경로 사이의 광 경로 차이를 제공하는 광 위상 지연 소자를 포함하는 두께 측정 장치의 동작 방법에 있어서,상기 측정 대상을 상기 측정 경로에서 제거한 상태에서 간섭신호로부터 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이인 제1 광 경로 차이를 추출하는 단계;상기 측정 대상을 상기 측정 경로에 삽입한 상태에서, 제2 광 경로 차이 및 제3 광 경로 차이를 추출하는 단계;상기 제2 광 경로 차이와 상기 제3 광 경로차이가 일치하여 두께 측정 불가 구간에 있는 경우, 상기 기준 경로 및 상기 측정 경로 중에서 하나의 경로에 상기 광 위상 지연 소자를 삽입하는 단계; 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에서 제거한 상태에서 간섭신호로부터 상기 기준 경로로 진행하는 상기 기준 빔과 상기 측정 경로를 진행한 측정 빔 사이의 광 경로 차이인 제1 수정 광 경로 차이를 추출하는 단계;상기 측정 대상이 상기 측정 경로에 삽입되고 상기 광 위상 지연 소자가 삽입한 상태에서, 제2 광 경로 차이, 및 제3 수정 광 경로 차이를 추출하는 단계; 및 상기 제1 수정 광 경로 차이, 상기 제2 광 경로 차이, 및 상기 제3 수정 광 경로 차이를 사용하여 상기 측정 대상의 두께 및 굴절률을 산출하는 단계를 포함하고,상기 제2 광 경로 차이는 상기 측정 대상을 상기 측정 경로에 삽입한 상태에서, 상기 측정 빔이 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광과 상기 측정 대상 내에서 한 차례의 반사되어 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 제3 광 경로 차이는 상기 측정 대상을 상기 측정 경로에 삽입한 상태에서, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이이고,상기 제3 수정 광 경로 차이는 상기 광 위상 지연 소자가 삽입되고 상기 측정 대상이 상기 측정 경로에 삽입된 상태에서, 상기 기준 빔과 상기 측정 대상을 반사없이 투과한 광 사이의 광 경로 차이인 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치의 동작 방법
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제6 항에 있어서,상기 광 위상 지연 소자가 상기 측정 경로에 삽입된 경우, 상기 제1 수정 광 경로 차이는 상기 제1 광 경로 차이의 2배 이상으로 증가시키도록 설정되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치의 동작 방법
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제6 항에 있어서,상기 측정 대상의 두께 및 굴절률을 산출한 후 상기 측정 대상의 측정 위치를 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치의 동작 방법
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