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(a)단층 또는 수층의 고체로 원자들이 소정의 결정 구조를 이루고 있는 이차원물질을 준비하는 단계;(b)상기 준비된 이차원물질을 필름형태의 복합물질로 구성된 이차원물질의필름으로 형성시키는 단계;(c)상기 형성된 이차원물질의 필름을 상온에 보관하는 단계;(d)상기 상온 보관을 통해 산화된 이차원물질의 필름을 사용하기 위해 상온상태의 챔버 내에 배치시키는 단계;(e)상기 이차원물질의 필름이 배치된 챔버 내에 수소가스를 주입하는 단계; 및(f)상기 주입된 수소가스에 노출된 이차원물질의 필름의 전기적 특성을 산화되기 이전의 수준으로 회복시키고, 표면 작용기의 변화를 통해 표면 개질이 되도록 상기 챔버 내에 플라즈마발생기를 통해 상온에서 플라즈마를 발생시켜 상기 이차원물질의 필름을 플라즈마처리하는 단계;를 포함하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 이차원물질은 이차원구조의 전이금속 탄화물 및 전이금속 탄질화물로 구성된 맥신용액인 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 이차원물질의 필름은 맥신용액 또는 상기 맥신용액에 이종물질을 도핑 또는 합금화 또는 이종물질과의 복합체 중 어느 하나를 포함하도록 필름형태의 복합물질로 구성된 맥신필름인 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 맥신용액은 Ti2C, Ti3C2, V2C, Nb2C, (Ti0
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제 4 항에 있어서, 상기 맥신용액은 Mn+1Xn의 화학식으로 이루진 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 Mn+1Xn의 화학식에서 M은 앞전이금속인 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 Mn+1Xn의 화학식에서 X는 탄소 및 질소 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 맥신필름은 상온에서 플라즈마를 통해 플라즈마처리되어 900℃ 이하의 온도에서 전기적 특성을 산화되기 이전의 수준으로 회복시키고, 표면 작용기의 변화를 통해 표면 개질이 되며, 산화안정성이 개선되는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 (f) 단계에서,상기 플라즈마발생기는 알에프안테나를 통해 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 알에프안테나로부터 발생되는 플라즈마의 직접적인 충돌을 방지하여 상기 맥신필름의 손상을 최소화하기 위해 상기 맥신필름과 소정의 거리를 두고 상기 알에프안테나가 배치된 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 (f) 단계를 통해 알에프안테나의 플라즈마가 맥신필름을 60분동안 100W의 출력으로 플라즈마처리하여 상기 맥신필름은 산화된 초기의 면저항 보다 20% 감소된 면저항을 갖고, 400W의 출력으로 플라즈마처리하여 상기 맥신필름은 산화된 초기의 면저항 보다 45% 감소된 면저항을 갖는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 (f) 단계를 통해 플라즈마처리된 맥신필름은 알에프안테나의 플라즈마가 400W의 출력으로 플라즈마처리하여 10분 경과 시 상기 맥신필름이 산화된 초기의 면저항 보다 20% 감소된 면저항을 갖고, 60분 경과 시 산화된 초기의 면저항 보다 45% 감소된 면저항을 갖는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 (f) 단계를 통해 상온에서 플라즈마처리된 상기 이차원물질의 필름은 스트레쳐블 또는 유연 기판에 적용되는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법
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수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치에 있어서,중공의 원통형상으로 형성된 바디부;상기 바디부의 상측 끝단은 개방되어 가스가 유입되도록 형성된 가스유입부;상기 바디부의 상측 끝단을 통해 유입된 가스가 상기 바디부의 내부로 유동되어 상기 바디부의 하측 끝단으로 배출되도록 개방된 가스배출부;상기 바디부 상단에는 상온의 조건에서 상기 바디부의 내부에 플라즈마를 발생시키도록 구비된 플라즈마발생기;상기 바디부의 내부의 하단에는 상기 플라즈마발생기를 통해 발생된 플라즈마로부터 플라즈마처리되도록 이차원 물질이 상부에 배치되어 지지되도록 판상형상으로 형성된 지지부; 및상기 바디부의 일측에는 상기 플라즈마발생기에 전원을 공급하도록 구비된 전원부;를 포함하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치
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제 14 항에 있어서, 상기 이차원물질은 이차원구조의 전이금속 탄화물 및 전이금속 탄질화물로 구성된 맥신필름인 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치
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제 15 항에 있어서, 상기 플라즈마발생기는 알에프안테나를 통해 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치
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제 16 항에 있어서, 상기 알에프안테나는 상기 바디부의 상단 외측면을 감싸는 코일형상으로 형성되어 전기장을 유도함으로써 플라즈마를 발생시키는 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치
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제 17 항에 있어서, 상기 맥신필름은 상기 알에프안테나로부터 발생되는 플라즈마의 직접적인 충돌로 인한 손상을 방지하도록 상기 바디부의 하단에 배치된 것을 특징으로 하는 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 장치
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제 1 항에 따른, 상기 수소 플라즈마를 활용한 이차원 물질의 전기적 특성 회복 방법을 통해 제조된 이차원물질 중 맥신필름을 전극재료로 구성된 것을 특징으로 하는 맥신소자
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