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세포 활동 분석용 나노 필라 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2020010151
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 세포 활동 분석용 나노 필라(pillar) 및 제조방법에 관한 것으로 더 상세하게는 금으로 에칭된 나노 필라 구조체 상에 세포를 배양하고 SEM 또는 형광 현미경 측정을 통해 세포 활동을 분석할 수 있는 나노 필라 및 그 제조방법에 관한 것이다. 세포 활동 분석용 나노 필라 및 그 제조방법을 제공함으로써 살아있는 세포의 관찰이 가능하고, 세포의 형광 염색이 가능하며, 이를 이용하여 세포의 활동을 분석하여 세포 자체의 특성을 확인할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) C23C 14/14 (2006.01.01) C23C 14/04 (2006.01.01) G01N 21/64 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01) G03F 7/2059(2013.01)
출원번호/일자 1020190006482 (2019.01.17)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0089575 (2020.07.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김규정 서울특별시 동작구
2 김수정 부산광역시 부산진구
3 김현진 부산광역시 해운대구
4 김수민 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 부산광역시 연제구 중앙대로 ****, *층 (거제동)(아너스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2019-0061740-91
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번호 청구항
1 1
폴리메탈크릴산메틸 (Poly(methyl methacrylate), PMMA)가 코팅된 석영 기판을 제조하는 1 단계;상기 PMMA가 코팅된 석영 기판을 패터닝하여 패터닝된 기판을 형성하는 2 단계;상기 패터닝된 기판의 식각된 부위에 크롬(Cr)을 증착시켜 크롬이 증착된 기판을 형성하는 3 단계;상기 크롬이 증착된 기판을 세척하여 잔여 PMMA를 제거한 기판을 형성하는 4 단계; 및상기 잔여 PMMA를 제거한 기판을 식각하고, 식각된 부위에 열증착(thermal evaporation)을 통해 금을 증착하는 5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 활동 분석용 나노 필라의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 2 단계는 전자빔 리소그래피(E-beam lithography)를 이용하여 PMMA가 코팅된 석영 기판을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 세포 활동 분석용 나노 필라의 제조방법
3 3
제 1항 또는 제 2항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 제조된 세포 활동 분석용 나노 필라
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.