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금속 칼코겐 화합물 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020010587
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조방법은 기판을 준비하는 단계; 결정 핵이 분산된 결정 핵 생성 용액을 준비하는 단계; 상기 결정 핵 생성 용액을 상기 기판에 코팅하는 단계; 상기 결정 핵 생성 용액이 코팅된 상기 기판을 베이킹 하여 용액 잔류물을 증발시켜 기판 상에 결정 핵을 형성하는 단계; 및 상기 결정 핵이 형성된 상기 기판 상에 화학 기상 증착을 통하여 금속 칼코겐 화합물 박막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 16/30 (2006.01.01) C23C 16/02 (2006.01.01) C23C 16/56 (2006.01.01) C23C 16/06 (2006.01.01)
CPC C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01) C23C 16/305(2013.01)
출원번호/일자 1020190011977 (2019.01.30)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0094462 (2020.08.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전형탁 서울특별시 성동구
2 이남규 서울특별시 성동구
3 박현우 서울특별시 성동구
4 최형수 서울특별시 성동구
5 최연식 서울특별시 성동구
6 김병욱 서울특별시 성동구
7 박수현 서울특별시 성동구
8 정찬원 서울특별시 성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0110148-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
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번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계;결정 핵이 분산된 결정 핵 생성 용액을 준비하는 단계;상기 결정 핵 생성 용액을 상기 기판에 코팅하는 단계;상기 결정 핵 생성 용액이 코팅된 상기 기판을 베이킹 하여 용액 잔류물을 증발시켜 기판 상에 결정 핵을 형성하는 단계; 및상기 결정 핵이 형성된 상기 기판 상에 화학 기상 증착을 통하여 금속 칼코겐 화합물 박막을 증착하는 단계를 포함하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 결정 핵이 형성된 상기 기판 상에 화학 기상 증착을 통하여 금속 칼코겐 화합물 박막을 증착하는 단계 이후에,금속 보호막을 증착하는 단계; 및 칼코겐 가스 분위기에서 열처리 하는 단계를 통하여 금속 칼코겐 화합물 이종 접합 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는 금속 칼코겐 화합물 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부(2017Y) (재)한국연구재단 원천기술개발사업 / 나노·소재 기술개발사업 / 나노·소재원천기술개발사업 2차원 황화물의 대면적 저온 공정 개발