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챔버 내에 기판을 준비하는 단계;황(S)을 포함하는 반응가스를 상기 챔버 내에 제1 시간 동안 제공하는 단계; 및상기 반응가스가 상기 챔버 내에 제공되는 동안 금속 함유 전구체를 상기 제1 시간 보다 짧은 제2 시간 동안 제공하여, 상기 기판 상에 제공된 상기 반응가스와 상기 금속 함유 전구체를 반응시켜, 상기 반응가스의 황(S) 및 상기 금속 함유 전구체의 금속을 포함하는 물질막을 형성하는 단계를 포함하는 금속/칼코겐 화합물의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 반응 가스를 제공하는 단계 및 상기 금속 함유 전구체를 제공하는 단계는 하나의 단위 공정으로 정의되고, 상기 단위 공정이 반복 수행되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제2 항에 있어서,상기 단위 공정을 반복 수행하는 횟수를 조절하여, 상기 기판 상에 형성되는 상기 물질막의 두께가 조절되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제2 항에 있어서, 상기 단위 공정에서, 상기 반응 가스가 제공되는 동안 상기 금속 함유 전구체는 상기 챔버 내에 복수회 제공되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제2 항에 있어서,상기 단위 공정은, 상기 반응 가스 및 상기 금속 함유 전구체를 제공하는 단계 종료 후, 상기 챔버 내에 불활성 가스(inert gas)를 공급하여, 상기 챔버 내부를 퍼지하는 단계를 더 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판 상에 황(S)을 포함하는 상기 반응가스를 제공하는 단계는, 상기 기판 상에 황(S)을 흡착시키는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 금속 함유 전구체의 상기 금속은, 주석(Sn)을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제1 항에 있어서,상기 금속 함유 전구체는 산소(O)를 포함하고,상기 물질막의 두께가 증가할수록, 상기 물질막에 포함된 산소 함량이 감소하는 것을 포함하는 금소/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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챔버 내에 기판을 준비하는 단계;금속 함유 전구체를 제1 시간 동안 상기 챔버 내에 제공하는 단계; 및황(S)을 포함하는 반응가스를 상기 제1 시간보다 긴 제2 시간 동안 제공하여, 상기 금속 함유 전구체의 금속 및 상기 반응가스의 황(S)을 포함하는 물질막을 형성하는 단계를 포함하되,상기 금속 함유 전구체를 제공하는 단계 직후, 상기 반응가스를 제공하는 단계를 수행하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 반응가스를 제공하는 단계 종료 후,상기 챔버 내에 불활성 가스를 공급하여, 상기 챔버 내부를 퍼지하는 단계를 더 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제10 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 반응가스를 제공하는 단계를 복수회 수행하고,상기 반응가스를 제공하는 단계들 사이에 상기 챔버 내부를 퍼지하는 단계를 수행하는 것을 더 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제11 항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 금속 함유 전구체를 제공하는 단계, 상기 챔버 내에 상기 반응가스를 복수회 제공하는 단계, 및 상기 반응가스를 제공하는 단계들 사이에 상기 챔버 내부를 퍼지하는 단계는 하나의 단위 공정으로 정의되고, 상기 단위 공정이 반복 수행되는 것을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 금속 함유 전구체의 상기 금속은, 주석(Sn)을 포함하는 금속/칼코겐 화합물을 포함하는 박막의 제조 방법
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