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a) 웨이퍼의 일면에 금속층을 증착시키고, 상기 금속층을 기설정된 형상으로 패터닝하는 단계;b) 상기 금속층이 패터닝된 상기 웨이퍼의 일면에 가공홀을 형성하는 단계;c) 형성된 상기 가공홀에 기판부를 형성하는 단계; d) 상기 기판부가 형성된 상기 웨이퍼의 타면을 그라인딩 및 식각하여 상기 기판부를 노출시키는 단계;e) 상기 웨이퍼의 타면측부터 기설정된 깊이만큼 상기 기판부를 식각하여 전극부를 형성하는 단계; 및f) 형성된 상기 전극부의 상단부에 증착층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 기판부는 망막 및 광수용체층의 형상에 대응하여 변형되도록 마련되어, 상기 전극부를 상기 망막에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 a) 단계에서,상기 금속층은 금(Au)과 티타늄(Ti) 또는 상기 금과 크롬(Cr)으로 이루어지며,상기 티타늄 및 상기 크롬은 상기 금과, 실리콘으로 이루어진 상기 웨이퍼 사이의 접촉을 강화시키는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 b) 단계는,b1) 상기 금속층상에 감광액(Photoresist)으로 이루어진 감광마스크층을 형성하는 단계;b2) 상기 웨이퍼에 딥 반응성 이온 에칭(Deep reactive ion etching) 공정을 수행하는 단계; 및b3) 상기 감광마스크층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 c) 단계는,c1) 상기 금속층상에 커버를 덮는 단계;c2) 상기 가공홀에 투명 물질을 채우는 단계; 및c3) 상기 투명 물질이 경화되어 기판부가 형성된 후, 상기 커버를 제거하는 단계를 포함하며,상기 커버는 상기 기판부와 상기 금속층의 표면이 일직선상에 위치되도록 하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 투명 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 패럴린(Parylene)을 포함하는 폴리머(Polymer)인 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 d) 단계는,d1) 상기 웨이퍼의 타면을 그라인딩 하는 단계; 및d2) 기설정된 두께만큼 그라인딩 된 상기 웨이퍼의 타면을 식각하여 상기 기판부를 노출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 d2) 단계에서,상기 웨이퍼의 타면은 등방성 습식 에칭(isotropic wet etching) 공정을 통해 식각되는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 e) 단계 이후에,기설정된 개수의 상기 전극부를 포함하도록 상기 기판부를 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 f) 단계는,상기 증착층은 상기 전극부의 단부에 백금(Pt) 또는 이리듐옥사이드(IrOx)를 포함하는 금속 박막을 증착하여 형성되며,상기 증착층은 상기 전극부의 임피던스를 낮추도록 마련된 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 e) 단계에서,상기 기판부는 건식 식각 및 습식 식각 중 어느 하나 이상의 방법으로 식각되는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치의 제조방법
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a) 웨이퍼의 일면에 금속층을 증착시키고, 상기 금속층을 기설정된 형상으로 패터닝하는 단계;b) 상기 금속층이 패터닝된 상기 웨이퍼의 일면에 가공홀을 형성하는 단계;c) 형성된 상기 가공홀에 기판부를 형성하는 단계; d) 상기 기판부가 형성된 상기 웨이퍼의 타면을 그라인딩 및 식각하여 상기 기판부를 노출시켜 전극부를 형성하는 단계; 및e) 형성된 상기 전극부의 상단부에 증착층을 형성하는 단계를 포함하는 2차원 전극장치의 제조방법
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제 1 항에 따른 3차원 전극장치의 제조방법으로 제조된 3차원 전극장치에 있어서,안구 내 광수용체층(photoreceptor)에 삽입되도록 마련되며, 투명 물질로 이루어진 상기 기판부; 및망막을 자극하도록 마련된 복수의 상기 전극부를 포함하며,상기 기판부는 상기 망막 및 상기 광수용체층의 형상에 대응하여 변형되도록 마련되어, 상기 전극부를 상기 망막에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 3차원 전극장치
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제 11 항에 따른 2차원 전극장치의 제조방법으로 제조된 2차원 전극장치에 있어서,안구 내 광수용체층(photoreceptor)에 삽입되도록 마련되며, 투명 물질로 이루어진 상기 기판부; 및망막을 자극하도록 마련된 복수의 상기 전극부를 포함하며,상기 기판부는 상기 망막 및 상기 광수용체층의 형상에 대응하여 변형되도록 마련되어, 상기 전극부를 상기 망막에 밀착시키는 것을 특징으로 하는 2차원 전극장치
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