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마이크로 패턴을 갖는 탄성중합체(PDMS) 스탬프가 기판의 상부에 정렬된 상태 및 상기 탄성중합체 스탬프에 형성된 마이크로 단위의 스탬프 패턴을 확인하는 현미경;상기 현미경의 일측에 구비되며, 상기 탄성중합체 스탬프를 이동 및 회전시키면서 상기 현미경에 상기 탄성중합체 스탬프의 위치를 조절한 후 상기 기판에 상기 탄성중합체 스탬프를 스탬핑시키는 미세위치조정 인쇄장치; 및상기 미세위치조정 인쇄장치의 이동 및 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 미세위치조정 인쇄장치는,상기 탄성중합체 스탬프를 고정하며, 상기 탄성중합체 스탬프를 회전시키는 회전판이 구비되는 스탬프 척과,상기 스탬프 척의 상부에 위치하며 모터에 의해 상기 스탬프 척에 구비되는 회전판을 회전시키는 미세회전스테이지와,상기 미세회전스테이지와 L자형 프레임에 의해 연결되며 모터에 의해 상기 미세회전스테이지를 Z방향으로 이동시키며 상기 탄성중합체 스탬프를 상기 기판의 상부에 스탬핑시키는 수직스테이지와,상기 수직스테이지의 하부에 위치하며 상기 수직 스테이지를 수동으로 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 수동스테이지와,상기 수동스테이지의 하부에 위치하며 상기 수동스테이지를 수동으로 회전시키는 수동회전판과,상기 수동회전판의 하부에 위치하며 상기 수동회전판과 연결되는 연결 회전판이 상부에 구비되며, 상기 미세회전스테이지가 상기 현미경의 기판 위에 위치하도록 높이를 맞춰주는 보조테이블을 포함하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 2에 있어서,상기 스탬프 척에 구비되는 회전판은 360°로 회전하며, 상기 회전판은 상기 모터에 의해 0
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청구항 2에 있어서,상기 수동스테이지는,상기 수직스테이지를 X방향으로 이동시키는 X스테이지와,상기 X스테이지의 하부에 위치하며 상기 수직스테이지와 상기 X스테이지를 Y방향으로 이동시키는 Y스테이지를 포함하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 4에 있어서,상기 X스테이지는, 상기 수직스테이지와 연결되어 상기 수직스테이지를 X방향으로 이동시키는 가로 이동판과,상기 가로 이동판의 하부에 위치하는 가로 고정판으로 이루어지며,상기 가로 고정판의 상부에는 경사지게 돌출된 가이드 돌기가 형성되고, 상기 가로 이동판의 하부에는 상기 가이드 돌기와 대응되는 가이드 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 5에 있어서,상기 가로 이동판의 일면에는 상기 가로 고정판의 상부에서 이동하는 상기 가로 이동판의 위치를 고정하는 클램프가 구비되고, 상기 가로 고정판의 일면에는 상기 가로 이동판이 이동하는 것을 제어하는 레버가 구비되는 것을 특징으로 하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 4에 있어서,상기 Y스테이지는, 상기 X스테이지의 하부에 구비되며 상기 X스테이지를 Y방향으로 이동시키는 세로 이동판과,상기 세로 이동판의 하부에 위치하는 세로 고정판으로 이루어지며,상기 세로 고정판의 상부에는 경사지게 돌출된 가이드 돌기가 형성되고, 상기 세로 이동판의 하부에는 상기 가이드 돌기와 대응되는 가이드 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 세로 이동판의 일면에는 상기 세로 고정판의 상부에서 이동하는 상기 세로 이동판의 위치를 고정하는 고정 클램프가 구비되고, 상기 세로 고정판의 일면에는 상기 세로 이동판이 이동하는 것을 제어하는 조작 레버가 구비되는 것을 특징으로 하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템
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