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기판;상기 기판 상에 고정된 중심부;상기 중심부에서 제 1 방향으로 신장되되 상기 기판으로부터는 이격된 제 1 날개부;상기 중심부에서 제 2 방향으로 신장되되 상기 기판으로부터는 이격된 제 2 날개부;상기 제 1 날개부에 연결되고, 상기 기판으로부터는 이격되게 배치되는, 도전성 제 1 전자 셔틀; 및상기 제 2 날개부에 연결되고, 상기 기판으로부터는 이격되게 배치되는, 도전성 제 2 전자 셔틀;을 포함하고,상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀이 서로 전기적으로 절연되도록, 상기 중심부, 상기 제 1 날개부 및 상기 제 2 날개부 중 적어도 하나의 일부분은 절연성 물질을 포함하며,상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀은 상기 중심부, 상기 제 1 날개부 및 상기 제 2 날개부를 통해서 서로 기계적으로 연결되며, 상기 중심부를 피봇축으로 하여 서로 반대 방향으로 피봇 운동이 가능하여, 상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀 중 어느 하나가 진동되면 다른 하나가 연동되어 진동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 날개부, 상기 제 2 날개부, 상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀이 상기 기판으로부터 이격되도록, 상기 기판 및 상기 중심부 사이에 개재된 돌출부를 더 포함하는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 날개부를 가로지르는 방향으로 상기 제 1 전자 셔틀 양측에 이격되게 배치된 제 1 드레인부 및 제 1 소오스부을 더 포함하고,상기 제 1 전자 셔틀이 진동되면 상기 제 1 전자 셔틀을 통해서 상기 제 1 소오스부로부터 상기 제 1 드레인부로 전자가 이동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 전자 셔틀이 한번 진동됨에 따라서, 상기 제 1 소오스부로부터 상기 제 1 드레인부로 하나의 전자가 이동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 드레인부 및 상기 제 1 소오스부 사이에 전력이 인가되면, 상기 제 1 전자 셔틀이 진동되고,상기 제 1 전자 셔틀이 진동됨에 따라서 상기 중심부를 피봇축으로 하여 상기 제 2 전자 셔틀이 상기 제 1 전자 셔틀과 연동되어 진동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 날개부를 가로지르는 방향으로 상기 제 2 전자 셔틀 양측에 이격되게 배치된 제 2 드레인부 및 제 2 소오스부를 더 포함하고,상기 제 2 전자 셔틀이 진동되면 상기 제 2 전자 셔틀을 통해서 상기 제 2 소오스부로부터 상기 제 2 드레인부로 전자가 이동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 6 항에 있어서,상기 제 2 드레인부 및 상기 제 2 소오스부 사이에 전력이 인가되면, 상기 제 2 전자 셔틀이 진동되고,상기 제 2 전자 셔틀이 진동됨에 따라서 상기 중심부를 피봇축으로 하여 상기 제 1 전자 셔틀이 상기 제 2 전자 셔틀과 연동되어 진동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 7 항에 있어서,상기 제 2 전자 셔틀이 한번 진동됨에 따라서, 상기 제 2 소오스부로부터 상기 제 2 드레인부로 하나의 전자가 이동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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제 1 항에 있어서,상기 중심부, 상기 제 1 날개부 및 상기 제 2 날개부는 절연성 물질을 포함하는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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10
제 1 항에 있어서,상기 제 1 방향과 상기 제 2 방향은 서로 반대되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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11
기판;상기 기판 상에 고정된 중심부;상기 중심부에서 양방향으로 각각 신장되되 상기 기판으로부터는 이격된 제 1 날개부 및 제 2 날개부;상기 제 1 날개부에 연결되고, 상기 기판으로부터는 이격되게 배치되는, 도전성 제 1 전자 셔틀;상기 제 1 날개부를 가로지르는 방향으로 상기 제 1 전자 셔틀 양측에 이격되게 배치된 제 1 드레인부 및 제 1 소오스부;상기 제 2 날개부에 연결되고, 상기 기판으로부터는 이격되게 배치되는, 도전성 제 2 전자 셔틀; 및상기 제 2 날개부를 가로지르는 방향으로 상기 제 2 전자 셔틀 양측에 이격되게 배치된 제 2 드레인부 및 제 2 소오스부;를 포함하고,상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀은 상기 중심부, 상기 제 1 날개부 및 상기 제 2 날개부를 통해서 서로 전기적으로는 절연되되 기계적으로는 연결되며, 상기 중심부를 피봇축으로 하여 서로 반대 방향으로 피봇 운동이 가능하여, 상기 제 1 전자 셔틀 및 상기 제 2 전자 셔틀 중 어느 하나가 진동되면 다른 하나가 연동되어 진동되는,전자 셔틀을 이용한 스위칭 소자
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