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희생층을 이용한 광 유도 전사 방법

  • 기술번호 : KST2020013235
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 광 유도 전사 방법은 전사 기판 위에 희생층을 형성하는 단계, 상기 희생층 위에 전사층을 형성하는 단계, 상기 전사 기판의 배면에 광을 조사하여 상기 전사층을 상기 전사 기판과 마주하는 대향 기판에 전사시키는 단계를 포함하고, 상기 희생층은 그래핀을 포함한다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01) G03F 7/2047(2013.01)
출원번호/일자 1020190027613 (2019.03.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0108658 (2020.09.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.03.11)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장원석 대전광역시 서구
2 조민제 대전광역시 유성구
3 지석영 경기도 수원시 영통구
4 정주연 대전광역시 유성구
5 조성학 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0247492-79
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0521152-11
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2020.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0023951-76
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0047693-42
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0274710-21
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0625041-82
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0625040-36
9 등록결정서
Decision to grant
2020.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0744347-07
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번호 청구항
1 1
전사 기판 위에 희생층을 형성하는 단계,상기 희생층 위에 전사층을 형성하는 단계,상기 전사 기판의 배면에 광을 조사하여 상기 전사층을 상기 전사 기판과 마주하는 대향 기판에 전사시키는 단계를 포함하고,상기 희생층은 그래핀을 포함하는 광 유도 전사 방법
2 2
제1항에서,상기 희생층의 두께는 0
3 3
제2항에서,상기 광은 레이저 또는 램프광 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 광 유도 전사 방법
4 4
제3항에서,상기 레이저는 자외선, 가시광선 및 적외선 파장의 레이저를 포함하는 광 유도 전사 방법
5 5
제3항에서,상기 램프는 제논 램프, 오존 램프 또는 머큐리 램프를 포함하는 광 유도 전사 방법
6 6
제1항에서,상기 전사층은 액체 금속을 포함하는 광 유도 전사 방법
7 7
제6항에서,상기 대향 기판은 유연 기판을 포함하는 광 유도 전사 방법
8 8
제1항에서,상기 전사층은 솔더 페이스트를 포함하는 광 유도 전사 방법
9 9
제8항에서,상기 대향 기판은 솔더링 기판을 포함하는 광 유도 전사 방법
10 10
제9항에서,상기 전사 기판은 상기 솔더링 기판에 형성된 정렬부에 의해 정렬되는 광 유도 전사 방법
11 11
제1항에서,상기 대향 기판은 손상 배선을 가지는 리페어 기판을 포함하고, 상기 전사층은 상기 손상 배선의 리페어부에 전사되어 상기 손상 배선을 리페어하는 광 유도 전사 방법
12 12
제11항에서,상기 전사 기판은 상기 리페어 기판에 형성된 정렬부에 의해 정렬되는 광 유도 전사 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 과기부-국가연구개발사업(Ⅲ) 소프트기판용 고해상 전극 레이저 패터닝 기술개발 (3/4)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노기반 옴니텍스(Omni-TEX) 제조기술 개발 (1/3)