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슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020014979
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 롤투롤 임프린트 리소그래피 공정에 적용이 가능한 롤 금형을 공정 비용 및 시간을 감소시켜 반복적으로 제작이 가능하도록 한 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법에 관한 것으로, 베이스 원통금형의 표면에 제 1 물질층을 형성하여 나노 및 마이크로 패턴을 형성하는 단계;제 1 물질층과 다른 제 2 물질층을 이용하여 마스터 슬리브 몰드를 제작하는 단계;마스터 슬리브 몰드를 이용하여 복제 나노금형을 제작하는 단계;제작된 복제 나노금형을 원통 베이스 금형과 결합하여 실제 롤투롤 나노임프린트 리소그래피 공정을 진행하는 단계;를 포함하는 것이다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020190049236 (2019.04.26)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0125869 (2020.11.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.26)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정명영 부산광역시 금정구
2 강호주 부산광역시 해운대구
3 김두인 부산광역시 금정구
4 김상필 부산광역시 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0434569-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.12.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0046746-06
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.04.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0272312-16
5 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
 2020.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0621378-69
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-0748614-39
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.07.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0748634-42
8 등록결정서
Decision to grant		 2020.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0774786-74
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번호 청구항
1 1
베이스 원통금형을 준비하여 베이스 원통금형의 표면에 PR을 코팅하여 PR층 형성하는 단계;PR 층을 패터닝하여 나노 및 마이크로 패턴을 형성하는 단계;나노 및 마이크로 패턴이 형성된 PR 패턴층 표면에 전기도금(electroforming) 공정으로 마스터 슬리브 몰드 형성용 물질층을 형성하는 단계;아세톤이나 알콜류로 용해시켜 PR 패턴층을 제거하여 원통 형상으로 내부 표면에 나노 및 마이크로 패턴이 형성된 마스터 슬리브 몰드를 제작하는 단계;내부 표면에 나노 및 마이크로 패턴이 형성된 마스터 슬리브 몰드 내부에 전기도금(electroforming) 공정으로 복제 나노금형 형성용 물질층을 형성하는 단계;마스터 슬리브 몰드를 분리하여 복제 나노금형을 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 제작된 복제 나노금형이 원통 베이스 금형의 외측에 위치하도록 복제 나노금형을 원통 베이스 금형에 끼워 실제 롤투롤 나노임프린트 리소그래피 공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 복제 나노금형을 제작하는 단계에서,마스터 슬리브 몰드를 분리하기 위하여 복제나노 금형 형성용 물질층을 형성하기 전에 마스터 슬리브 몰드의 내부 표면에 산화층(Oxide Film)을 증착하고 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 나노 및 마이크로 패턴을 형성하는 단계에서,베이스 원통금형의 표면에 원통 코팅 공정으로 PR을 코팅하고, 나노 및 마이크로 패턴을 롤 투 플레이트(Roll to plate) 임프린트 공정으로 패턴 전사를 하는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
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삭제
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제 1 항에 있어서, 마스터 슬리브 몰드를 고분자 필름 슬리브 형태로 제작하거나, 평판형 전주도금을 이용하는 형태로 제작하는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 분리된 마스터 슬리브 몰드는 복제 나노금형을 제작하는 공정에 반복적으로 사용되는 것을 특징으로 하는 슬리브형 나노 및 마이크로 패턴을 가지는 롤 금형 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 부산대학교 산학협력단 나노금형기반맞춤형융합제품상용화지원센터구축사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축