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다공성 금속 박막의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020016333
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다공성 금속 박막에 열처리를 수행하여 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법, 및 이에 따라 제조된 다공성 금속산화물 박막이 개시된다. 일실시예에 따른 다공성 금속 박막에 열처리를 수행하여 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법은, i) 챔버에서, 기판에 금속을 증착시켜, 기판에 다공성 금속 박막을 형성시키는 단계; 및 ii) 열처리로에서, 다공성 금속 박막이 형성된 기판에 열처리를 수행하여, 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 단계를 포함한다.
Int. CL C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/14 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01)
CPC C23C 14/5806(2013.01) C23C 14/5806(2013.01) C23C 14/5806(2013.01)
출원번호/일자 1020190052751 (2019.05.07)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0128793 (2020.11.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호년 인천광역시 미추홀구
2 김현종 경기도 용인시 수지구
3 황세훈 인천광역시 남동구
4 이원지 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김현재 대한민국 경기도 고양시 덕양구 권율대로 ***, ***호 (원흥동)(화려특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0460999-01
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2020.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2020-0180575-80
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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i) 챔버에서, 기판에 금속을 증착시켜, 상기 기판에 다공성 금속 박막을 형성시키는 단계; 및ii) 열처리로에서, 상기 다공성 금속 박막이 형성된 기판에 열처리를 수행하여, 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 다공성 금속산화물 박막을 제조하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 생산기술산업원천기술개발 생활밀착형 센서를 위한 나노 소재공정 기술 개발