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질소산화물 가스 검출 센서

  • 기술번호 : KST2021000397
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 질소산화물 가스 검출 센서는 그래핀 층 및 상기 그래핀 층의 일 면에 접하여 위치하는 금속산화물 박막을 포함하는 이중 채널; 상기 이중 채널의 상기 금속산화물 박막 상 서로 이격 위치하는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 이중 채널의 상기 그래핀 층의 다른 일 면에 접하여 위치하는 게이트 산화막; 및 상기 소스 전극과 드레인 전극간 이격된 영역에 대응하는 게이트 산화막 영역 상 위치하는 게이트 전극;을 포함한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 29/40 (2006.01.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 33/0037(2013.01) H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/401(2013.01)
출원번호/일자 1020190082938 (2019.07.10)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0007096 (2021.01.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.07.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안기석 대전광역시 유성구
2 송우석 대전광역시 유성구
3 임종선 대전광역시 유성구
4 명성 대전광역시 유성구
5 정하균 대전광역시 유성구
6 이선숙 대전광역시 유성구
7 배가람 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-0704265-64
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0141025-57
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0663472-73
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-1271793-62
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번호 청구항
1 1
그래핀 층 및 상기 그래핀 층의 일 면에 접하여 위치하는 금속산화물 박막을 포함하는 이중 채널;상기 이중 채널의 상기 금속산화물 박막 상 서로 이격 위치하는 소스 전극과 드레인 전극; 상기 이중 채널의 상기 그래핀 층의 다른 일 면에 접하여 위치하는 게이트 산화막; 및상기 소스 전극과 드레인 전극간 이격된 영역에 대응하는 게이트 산화막 영역 상 위치하는 게이트 전극;을 포함하는 질소산화물(NOx) 가스 검출 센서
2 2
제 1항에 있어서,상기 검출 센서의 게이트 전압-드레인 전류(Vgs - Ids)는 디락 포인트(Dirac point)를 갖는 질소산화물 가스 검출 센서
3 3
제 1항에 있어서,상기 그래핀 층은 단일층 그래핀인 질소산화물 가스 검출 센서
4 4
제 1항에 있어서,상기 금속산화물 박막의 금속산화물은 티타늄(Ti), 아연(Zn), 인듐(In), 텅스텐(W), 니오븀(Nb), 몰리브데넘(Mo), 마그네슘(Mg), 주석(Sn), 스트론튬(Sr), 이트륨(Y) 및 갈륨(Ga)에서 하나 이상 선택된 원소의 산화물이나 이들의 복합산화물인 질소산화물 가스 검출 센서
5 5
제 1항에 있어서,상기 소스 전극과 드레인 전극은 서로 맞물린(interdigitated) 구조인 질소산화물 가스 검출 센서
6 6
제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 질소산화물 가스 검출 센서를 이용한 질소산화물 가스 검출 방법
7 7
a) 절연막 상 그래핀 층을 전사하는 단계;b) 원자층 증착을 이용하여 전사된 그래핀 층 상 금속산화물 박막을 형성하는 단계; 및c) 상기 금속산화물 박막 상 서로 이격된 소스 전극과 드레인 전극을 형성하고, 전사된 그래핀 층이 위치하는 절연막의 대향면 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 질소산화물 가스 검출 센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국화학연구원 한국화학연구원연구운영비지원(R＆D)(주요사업비) IoT 디바이스용 스마트 화학 소재 개발
2 환경부 한국화학연구원 국민위해인자에대응한기체분자식별분석기술개발(R＆D)(환경부) 고감도 가스센서 소재 및 신개념 센서소자 개발