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멀티 프로버용 웨이퍼척 조립체

  • 기술번호 : KST2021000488
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 멀티프로버용 웨이퍼척 조립체로서, 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼척, 상기 웨이퍼척 하부에 부착하여 상기 웨이퍼척을 히팅할 수 있는 히터, 상기 웨이퍼척에 소정의 간격을 두고 부착하여 웨이퍼척의 상대준위를 제공하는 가드부재, 상기 가드부재에 소정의 간격을 두고 부착하여 웨이퍼척의 기준준위를 제공하는 접지부재 및 상기 히터에 의하여 가열되는 상기 웨이퍼척의 온도를 측정하기 위하여 상기 웨이퍼척에 소정 간격으로 이격 배치되는 무접촉 온도센서를 포함한다.
Int. CL G01R 31/28 (2006.01.01) G01R 1/073 (2006.01.01) G01R 1/04 (2006.01.01)
CPC G01R 31/2886(2013.01) G01R 31/2865(2013.01) G01R 31/2863(2013.01) G01R 1/07307(2013.01) G01R 1/0491(2013.01)
출원번호/일자 1020190085642 (2019.07.16)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0009083 (2021.01.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정순종 경상남도 창원시 성산구
2 구보근 부산광역시 사상구
3 김민수 부산광역시 북구
4 김인성 경상남도 창원시 성산구
5 임동환 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0726852-60
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2019.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0833717-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 지지하는 웨이퍼척; 상기 웨이퍼척 하부에 부착하여 상기 웨이퍼척을 히팅할 수 있는 히터를 포함하고 상기 웨이퍼척을 하부에서 지탱하는 몸체부;상기 웨이퍼척에 소정의 간격을 두고 부착하여 웨이퍼척의 상대준위를 제공하는 가드부재;상기 가드부재에 소정의 간격을 두고 부착하여 웨이퍼척의 기준준위를 제공하는 접지부재; 및상기 히터에 의하여 가열되는 상기 웨이퍼척의 온도를 측정하기 위하여 상기 웨이퍼척에 소정 간격으로 이격 배치되는 무접촉 온도센서를 포함하는 웨이퍼척 조립체
2 2
제1 항에 있어서, 상기 무접촉 온도센서는 상기 몸체부의 중심 중앙에 형성된 중공부를 통하여 상기 웨이퍼척의 하부에 소정의 간격을 두고 배치되는 웨이퍼척 조립체
3 3
제1 항에 있어서, 상기 무접촉 온도센서는 공기를 유전율로 하기 위하여 웨이퍼척과 공간적으로 소정의 간격을 두고 이격시켜 상기 웨이퍼척 중심 중앙 부근 하부에 배치되는 웨이퍼척 조립체
4 4
제1 항에 있어서, 상기 가드부재의 신호선, 접지부재의 신호선 포함하여 전기배선을 상기 몸체부의 중심 중앙에 형성된 중공부 내부를 통하여 형성시키는 웨이퍼척 조립체
5 5
제4 항에 있어서, 상기 히터에서 발생된 열(온도)은 일 측방향인 웨이퍼척으로만 향하도록 하고 다른 일측방향으로는 차단이 되도록 상기 히터 하부에 배치되는 단열부재를 더 포함하는 웨이퍼척 조립체
6 6
제1 항에 있어서, 상기 히터와 상기 웨이퍼척 사이에 배치되는 전기적 절연부재를 더 포함하는 웨이퍼척 조립체
7 7
제1 항에 있어서, 상기 무접촉 온도센서를 웨이퍼척의 하부에 근접시켜 배치하기 위하여 상기 히터에 상기 무접촉 온도센서가 관통되도록 제1 관통홀을 형성하고, 단열부재에 상기 무접촉 온도센서가 관통되도록 제2 관통홀이 형성되는 웨이퍼척 조립체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 창의융합 사업 고속 멀티 프로빙 웨이퍼 검사 시스템 개발