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웨이퍼를 지지하는 웨이퍼척;상기 웨이퍼척 하부에 배치되는 몸체부를 포함하는 척 구조체;상기 웨이퍼척 상부에 결합되고 상기 웨이퍼를 검사하는 프로브 카드 구조체;상기 프로브 카드 구조체 및 상기 몸체부에 각각 구비되어 상기 몸체부와 상기 프로브 카드 구조체 사이의 상대 회전에 의하여 상호 체결되는 상부 락킹부 및 하부 락킹부를 포함하고,상기 상부 락킹부 또는 하부 락킹부에 진공홀이 형성되어 상기 진공홀에 의해 상기 상부 락킹부 및 상기 하부 락킹부가 흡착되도록 하는 프로버용 카트리지
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제1 항에 있어서,상기 몸체부는 회전베어링;상기 회전베어링 내륜에 결합되는 내부몸체 및상기 회전베어링 외륜에 회전 가능하게 결합되는 외부몸체를 포함하는 프로버용 카트리지
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제2 항에 있어서,상기 상부 락킹부는 상기 프로브 카드 구조체 하부에 설치되는 상부 락킹몸체 및상기 상부 락킹몸체 하부에 형성된 상부 락커를 포함하고,상기 하부 락킹부는상기 외부몸체 상부에 설치되어 상기 외부몸체와 동시에 회전되며 내측에 상기 웨이퍼척이 위치하는 하부 락킹몸체 및상기 하부 락킹몸체 상부에 형성되어 상기 상부 락커와 체결 및 해제되는 하부 락커를 포함하는 프로버용 카트리지
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제3 항에 있어서,상기 상부 락커는,상기 상부 락킹몸체 하부면에서 하측으로 연장 형성되는 제1 돌출부 및상기 제1 돌출부에서 상기 상부 락킹몸체의 횡방향으로 연장 형성되는 제1 헤드부를 포함하고상기 하부 락커는,상기 하부 락킹몸체 상부면에서 상측으로 연장 형성되는 제2 돌출부 및상기 제2 돌출부에서 상기 제1 헤드부의 연장 방향과 반대 방향으로 연장 형성되고 일측에 상기 진공홀이 형성되는 제2 헤드부를 포함하는 프로버용 카트리지
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제3 항에 있어서,상기 상부 락커는,상기 상부 락킹몸체 하부면에서 하측으로 연장 형성되는 제1 돌출부 및상기 제1 돌출부에서 상기 상부 락킹몸체의 횡방향으로 연장 형성되고 일측에 상기 진공홀이 형성되는 제1 헤드부를 포함하고상기 하부 락커는,상기 하부 락킹몸체 상부면에서 상측으로 연장 형성되는 제2 돌출부 및상기 제2 돌출부에서 상기 제1 헤드부의 연장 방향과 반대 방향으로 연장 형성되는 제2 헤드부를 포함하는 프로버용 카트리지
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제4 항 또는 제5 항에 있어서,상기 제1 헤드부 또는 상기 제2 헤드부 외부에 위치하여 상기 진공홀을 통해 유체를 유입 또는 흡입하는 진공 펌프를 포함하는 프로버용 카트리지
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제1 항에 있어서, 상기 웨이퍼척의 외부측에 배치되어 상기 척 구조체 및 상기 프로브 카드 구조체 사이의 간격을 유지하도록 하는 텐션스토퍼를 더 포함하는 프로버용 카트리지
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제7 항에 있어서, 상기 텐션스토퍼는,상부 지지체;상기 상부 지지체의 하부에 위치하는 하부 지지체 및일단이 상기 상부 지지체에 지지되고, 타단이 상기 하부 지지체에 지지되는 탄성부재를 포함하는 프로버용 카트리지
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