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그래핀을 이용한 촉감센서, 손가락 센서 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2021002040
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 본 발명은 그래핀을 이용한 촉감센서, 손가락 센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 희생층 기판상에 제1고분자 필름층을 형성하는 단계; 상기 제1고분자 필름층 상에 금속층을 형성하고, 패터닝하여 전극배선을 제작하는 단계; 상부에 그래핀 필름을 전사하는 단계; 상기 그래핀 필름을 식각하여 복수의 센서부를 형성하는 단계; 상부에 제2고분자 필름층을 형성하는 단계; 상기 센서부와, 센서부 다리부분을 남긴 후 상기 그래핀 필름을 에칭하는 단계; 및 상기 희생층을 제거하여 촉감센서를 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 이용한 촉감센서에 관한 것이다.
Int. CL G01B 5/28 (2006.01.01) G06F 3/01 (2006.01.01) G01P 5/08 (2006.01.01)
CPC G01B 5/28(2013.01) G06F 3/016(2013.01) G01P 5/08(2013.01)
출원번호/일자 1020190134626 (2019.10.28)
출원인 한국표준과학연구원, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2200599-0000 (2021.01.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.10.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김민석 대전광역시 서구
2 박민훈 대전광역시 유성구
3 복보규 대전광역시 유성구
4 안종현 서울특별시 서대문구
5 김제중 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
2 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-1100407-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0061394-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0403471-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.08.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0823199-75
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0823198-29
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0879890-09
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번호 청구항
1 1
촉감센서의 제조방법에 있어서, 희생층 기판상에 제1고분자 필름층을 형성하는 단계; 상기 제1고분자 필름층 상에 금속층을 형성하고, 패터닝하여 전극배선을 제작하는 단계; 상부에 그래핀 필름을 전사하는 단계; 상기 그래핀 필름을 식각하여 복수의 센서부를 형성하는 단계; 상기 전극 배선 부분을 도핑하는 단계;상부에 제2고분자 필름층을 형성하는 단계; 상기 센서부와, 센서부 다리 부분만 남기고 그래핀 필름을 에칭하는 단계; 및상기 희생층을 제거하여 촉감센서를 제작하는 단계;를 포함하고,상기 그래핀 필름을 전사하는 단계는, CVD 방식으로 합성되어 4층으로 적층된 그래핀 필름을 전사하며, 상기 센서부는 온도센서, 3축힘센서, 깊이센서, 및 수분센서를 포함하고,상기 온도센서는 프랙탈(fractal) 구조로 구성되며, 상기 수분센서는 공면(coplanar) 구조로 구성되는 것을 특징으로 하는 그래핀을 이용한 촉감센서의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제1고분자 필름층을 형성하는 단계와, 상기 제2고분자 필름층을 형성하는 단계는 폴리이미드(PI) 용액을 도포한 후 경화하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 이용한 촉감센서의 제조방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제 1항 또는 제 2항에 따른 제조방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 촉감센서
9 9
사람의 손가락에 직접 부착되어 촉감인자 샘플에 접촉되어 촉감데이터를 정량화할 수 있는 그래핀 기반의 손가락센서의 제조방법에 있어서, 제1항 또는 제2항에 따른 제조방법으로 촉감센서를 제작하는 단계;상기 촉감센서를 수용성 테이프에 전사하는 단계; 수용성 테이프를 통해 상기 촉감센서를 손가락 표면에 부착하는 단계; 및물을 이용해 상기 수용성 테이프를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉감데이터를 정량화하기 위한 손가락 센서의 제조방법
10 10
제 9항에 있어서, 상기 손가락에 부착된 손가락센서를 촉감인자 샘플 표면에 접촉한 후 촉각데이터를 측정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 촉감데이터를 정량화하기 위한 손가락 센서의 제조방법
11 11
제 10항에 있어서, 상기 센서부는 온도센서, 3축힘센서, 깊이센서, 및 수분센서를 포함하고, 상기 측정하는 단계는, 상기 센서부에서 측정된 데이터를 기반으로 딱딱함, 유연감, 제동감, 거칠기, 깊이감, 온열감을 분석하여 정량적 데이터로 산출하는 것을 특징으로 하는 촉감데이터를 정량화하기 위한 손가락 센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국표준과학연구원 산업핵심기술개발사업 사람피부의 촉각소자 구조 및 기능을 재현할 수 있는 로봇용 인공피부 소자 및 로봇수술, 의수 적용을 위한 원천기술 개발
2 산업통상자원부 한양대학교 에리카 산학협력단 산업핵심기술개발사업 멀티모달인식 기반으로 일상생활환경의 다양한 물체를 파지, 조작하고 도구 활용 작업이 가능한 로봇 작업 제어 기술 개발
3 과학기술정보통신부 연세대학교 산학협력단 창의연구지원사업 변형 제어 고성능 전자 소자 연구단(2/3,2단계)