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반도체 공정용 챔버(chamber) 내의 측정 대상체에 레이저 빔을 조사하는 레이저;상기 챔버 내부에 설치되고, 상기 레이저 빔의 일부를 반사하고 나머지 일부를 투과하는 석영 유리;상기 챔버 내부에 설치되고, 상기 석영 유리에서 반사된 제1 반사광의 강도를 감지하는 제1 수광 센서;상기 챔버 내부에 설치되고, 상기 석영 유리를 투과한 상기 레이저 빔이 상기 측정 대상체에서 반사된 제2 반사광의 강도를 감지하는 제2 수광 센서; 및상기 제1 반사광의 강도와 상기 제2 반사광의 강도를 비교하여 상기 측정 대상체의 반사율을 연산하고, 상기 반사율과 사전에 설정된 두께 별 반사율을 비교하여 상기 측정 대상체의 두께를 측정하는 제어기;를 포함하는 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정 대상체로서 이온 주입 공정에 이용되는 에너지 퓨리티 모듈(energy purity module, EPM)의 전극 로드에 증착된 불순물의 두께를 측정하는 두께 측정 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 전극 로드에 증착된 불순물의 두께와 사전에 설정된 기준 파라미터를 비교하여 상기 전극 로드의 교체 시기를 연산하는 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 수광 센서의 앞 단에 상기 제2 반사광을 집광하는 집광 렌즈를 더 포함하는 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서,상기 사전에 설정된 두께 별 반사율은 상기 측정 대상체의 물질에 따라 분류되는 두께 측정 장치
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제 5 항에 있어서,상기 사전에 설정된 두께 별 반사율은 상기 레이저 빔의 입사각에 따라 분류되는 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정 대상체로서 웨이퍼(wafer)에 증착된 반투명 박막의 두께를 측정하는 두께 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정 대상체에 레이저 빔을 적어도 두 개 이상의 입사각들로 조사하도록 상기 레이저를 제어하는 두께 측정 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 입사각들 별 반사율을 연산하고, 상기 입사각들 별 반사율과 상기 레이저 빔의 입사각에 따라 분류된 상기 사전에 설정된 두께 별 반사율을 비교하여 상기 측정 대상체의 두께를 측정하는 두께 측정 장치
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레이저가 레이저 빔을 반도체 공정용 챔버 내의 석영 유리를 통해서 측정 대상체에 조사하는 단계;제1 수광 센서가 상기 석영 유리에서 반사된 제1 반사광의 강도를 감지하는 단계;제2 수광 센서가 상기 석영 유리를 투과한 상기 레이저 빔이 상기 측정 대상체에서 반사된 제2 반사광의 강도를 감지하는 단계; 및제어기가 상기 제1 반사광의 강도와 상기 제2 반사광의 강도를 비교하여 상기 측정 대상체의 반사율을 연산하고, 상기 반사율과 사전에 설정된 두께 별 반사율을 비교하여 상기 측정 대상체의 두께를 측정하는 단계;를 포함하는 두께 측정 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정 대상체로서 이온 주입에 이용되는 에너지 퓨리티 모듈의 전극 로드에 증착된 불순물의 두께를 측정하는 두께 측정 방법
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제 11 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 전극 로드에 증착된 불순물의 두께와 사전에 설정된 기준 파라미터를 비교하여 상기 전극 로드의 교체 시기를 연산하는 단계;를 더 포함하는 두께 측정 방법
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제 10 항에 있어서,상기 사전에 설정된 두께 별 반사율은 상기 측정 대상체의 물질에 따라 분류되는 두께 측정 방법
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제 13 항에 있어서,상기 사전에 설정된 두께 별 반사율은 상기 레이저 빔의 입사각에 따라 분류되는 두께 측정 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 측정 대상체로서 웨이퍼에 증착된 반투명 박막의 두께를 측정하는 두께 측정 방법
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제 15 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 반투명 박막에 레이저 빔을 적어도 두 개 이상의 입사각들로 조사하도록 상기 레이저를 제어하는 두께 측정 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 제어기는 상기 입사각들 별 반사율을 연산하고, 상기 입사각들 별 반사율과 상기 사전에 설정된 두께 별 반사율을 비교하여 상기 측정 대상체의 두께를 측정하는 두께 측정 방법
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제 17 항에 있어서, 상기 사전에 설정된 두께 별 반사율은 상기 반투명 박막의 물질에 따라 분류되고, 상기 레이버 빔의 입사각에 따라 분류되는 두께 측정 방법
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