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내부에 열처리 공정이 수행되도록 작업공간이 형성된 챔버;유기전자소자용 기판을 권출하는 언와인더, 상기 작업공간의 일측에서 타측으로 이격 배치되어 열(列)을 형성하고 상기 유기전자소자용 기판을 수송하는 복수의 수송롤러 및 수송된 상기 유기전자소자용 기판을 권취하는 와인더를 포함하는 롤투롤부;수송되는 상기 유기전자소자용 기판의 일면에 원적외선을 조사하고, 히터열을 방출하는 제1 원적외선히터를 포함하는 히터부;상기 챔버의 외벽에 배치되고, 상기 작업공간 내의 상기 히터열이 상기 챔버의 외부로 이동되는 것을 차단하는 단열부;상기 챔버 외부의 공기를 흡입하여 제습하고, 제습된 상기 공기를 상기 챔버 내부로 수송하는 습도조절부; 및상기 작업공간의 일측에서부터 타측으로 제습된 상기 공기를 송풍하여, 상기 작업공간 내부에서 상기 히터열을 대류시키는 송풍부;를 포함하는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 작업공간과 상기 챔버의 외부가 소통되는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 언와인더는 상기 챔버의 외부에 배치되고,상기 챔버는 상기 언와인더에서 권출되는 상기 유기전자소자용 기판이 상기 작업공간으로 이동되도록, 외면에 개구부가 형성되는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 유기전자소자용 기판은 유기태양전지의 제조에 사용되고, 유연기판의 일면에 전자수송층, 유기활성층, 정공수송층, 금속전극층 중 어느 하나 이상의 박막이 형성된 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 수송롤러는 상기 작업공간의 일측에서부터 타측으로 상기 유기전자소자용 기판이 수송되는 순방향 또는 상기 순방향과 반대되는 역방향 중 어느 한 방향에서 다른 방향으로 전환되어 지그재그로 수송되도록, 상기 작업공간의 종방향을 따라서 복수의 열로 배치되는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 히터부는,수송되는 상기 유기전자소자용 기판의 타면에 상기 원적외선을 조사하고, 상기 히터열을 방출하는 제2 원적외선히터를 더 포함하는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1 원적외선히터는 판형으로 형성되고, 상기 작업공간의 일측에서부터 타측으로 상기 유기전자소자용 기판이 수송되는 순방향 또는 상기 순방향과 반대되는 역방향과 나란하게 배치되는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 습도조절부는 상기 챔버 내부로 수송되는 상기 공기의 습도가 20% 이하가 되도록 제습하는 유기전자소자의 열처리 장치
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청구항 1에 있어서,상기 챔버 내부로 수송되는 상기 공기를 가열하고, 상기 작업공간에 양압이 발생되어 상기 작업공간 내부의 휘발성 증기가 외부로 배출되도록, 가열된 상기 공기를 상기 작업공간으로 공급하는 열풍부;를 더 포함하는 유기전자소자의 열처리 장치
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