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복수의 센서들; 상기 복수 개의 센서가 센싱한 신호를 스펙트럼으로 변환하는 변환부; 상기 스펙트럼을 정규화하는 정규화부;상기 정규화된 스펙트럼을 격자로 분할하는 분할부; 상기 분할된 각 칸에 포함된 스펙트럼 성분의 높이를 기초로 이진 패턴을 생성하는 이진 패턴 생성부; 상기 이진 패턴과 미리 제공된 결함 이진 패턴의 유사도를 계산하는 계산부; 및상기 유사도가 기준치 이상이면 결함으로 판단하는 판단부;를 포함하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 분할부는 상기 스펙트럼을 50 개 내지 10,000 개의 칸으로 분할하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 이진 패턴 생성부는 상기 분할된 각 칸에 포함된 스펙트럼 성분의 높이가 한 칸 높이의 절반 이상이면 1, 미만이면 0으로 표시하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 계산부는 하기 수학식 1 및 2를 이용하여 상기 유사도를 계산하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 시스템:[수학식 1][수학식 2](상기 수학식 1 및 2에서, 상기 a는 상기 격자의 행의 수, 상기 b는 상기 격자의 열의 수, 상기 M은 상기 이진 패턴의 값, 상기 Mf는 상기 미리 제공된 결함 이진 패턴의 값인 것임)
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제 1 항에 있어서, 상기 기준치는 0
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설비 부품 상에 배치된 복수 개의 센서가 센싱한 신호를 스펙트럼으로 변환하는 단계; 상기 스펙트럼을 정규화하는 단계; 상기 정규화된 스펙트럼을 격자로 분할하는 단계; 상기 분할된 각 칸에 포함된 스펙트럼 성분의 높이가 한 칸 높이의 절반 이상이면 1, 미만이면 0으로 표시하여 이진 패턴을 생성하는 단계; 상기 이진 패턴과 미리 제공된 결함 이진 패턴의 유사도를 계산하는 단계; 및 상기 유사도가 기준치 이상이면 결함으로 판단하는 단계;를 포함하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 정규화하는 단계는 하기 수학식 3을 이용하여 정규화하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 방법: [수학식 3](상기 수학식 3에서, 상기 는 정규화된 스펙트럼의 함수, 상기 f(i)는 스펙트럼의 함수, 상기 min(f)는 상기 스펙트럼의 최소값,상기 max(f)는 상기 스펙트럼의 최대값인 것임)
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제 6 항에 있어서, 상기 분할은 상기 스펙트럼을 50 개 내지 10,000 개의 칸으로 분할하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 유사도는 하기 수학식 1 및 2를 이용하여 계산하는 것인, 설비 부품의 결함 진단 방법:[수학식 1][수학식 2](상기 수학식 1 및 2에서, 상기 a는 상기 격자의 행의 수, 상기 b는 상기 격자의 열의 수, 상기 M은 상기 이진 패턴의 값, 상기 Mf는 상기 미리 제공된 결함 이진 패턴의 값인 것임)
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제 6 항에 있어서, 상기 기준치는 0
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