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마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 수단을 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은,커널 신뢰도 전파 알고리즘을 사용하여 상기 공정 변수에 대한 그램 행렬을 얻고 결함 데이터 세트에 대하여 추론을 수행하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은,상기 공정 변수의 조건부 한계 확률을 계산하고, 상기 조건부 한계 확률을 조건부 기여도 값으로 변환하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은, 상기 조건부 기여도 값을 이용하여 상기 결함을 분리하고 상기 결함의 전파경로를 분석하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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5 |
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제 1 항에 있어서,그래프 라쏘를 이용하여 상기 공정 변수를 관련 그룹으로 그룹화하는 그래프 라쏘 처리 수단을 더 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 단계을 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 6 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는,커널 신뢰도 전파 알고리즘을 사용하여 상기 공정 변수에 대한 그램 행렬을 얻고 결함 데이터 세트에 대하여 추론을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 6 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는,상기 공정 변수의 조건부 한계 확률을 계산하는 단계, 및 상기 조건부 한계 확률을 조건부 기여도 값으로 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 8 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는, 상기 조건부 기여도 값을 이용하여 상기 결함을 분리하고 상기 결함의 전파경로를 분석하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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10
제 6 항에 있어서,그래프 라쏘를 이용하여 상기 공정 변수를 관련 그룹으로 그룹화하는 그래프 라쏘 처리 단계를 더 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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