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이상 진단 및 전파경로 분석 시스템 및 방법

  • 기술번호 : KST2021003840
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템 및 방법이 제공된다. 상기 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템은, 마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 수단을 포함한다. 상기이상 진단 및 전파경로 분석 방법은, 마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 단계을 포함한다.
Int. CL G05B 23/02 (2006.01.01)
CPC G05B 23/0243(2013.01) G05B 23/0275(2013.01) G05B 2219/24076(2013.01)
출원번호/일자 1020190121227 (2019.09.30)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0038264 (2021.04.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.09.30)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이원보 서울특별시 관악구
2 김창수 서울특별시 관악구
3 이호동 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 강문호 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ** (반포동) 우주빌딩 *층(다민특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1001688-42
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.06.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0018754-05
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0086603-79
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.03.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0362353-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2021-0362356-46
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번호 청구항
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마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 수단을 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은,커널 신뢰도 전파 알고리즘을 사용하여 상기 공정 변수에 대한 그램 행렬을 얻고 결함 데이터 세트에 대하여 추론을 수행하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은,상기 공정 변수의 조건부 한계 확률을 계산하고, 상기 조건부 한계 확률을 조건부 기여도 값으로 변환하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 3 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 수단은, 상기 조건부 기여도 값을 이용하여 상기 결함을 분리하고 상기 결함의 전파경로를 분석하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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제 1 항에 있어서,그래프 라쏘를 이용하여 상기 공정 변수를 관련 그룹으로 그룹화하는 그래프 라쏘 처리 수단을 더 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 시스템
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마르코프 랜덤 필드 모델링을 이용하여 공정 변수를 분석하여 공정의 결함을 진단하는 마르코프 랜덤 필드 처리 단계을 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 6 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는,커널 신뢰도 전파 알고리즘을 사용하여 상기 공정 변수에 대한 그램 행렬을 얻고 결함 데이터 세트에 대하여 추론을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 6 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는,상기 공정 변수의 조건부 한계 확률을 계산하는 단계, 및 상기 조건부 한계 확률을 조건부 기여도 값으로 변환하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 8 항에 있어서,상기 마르코프 랜덤 필드 처리 단계는, 상기 조건부 기여도 값을 이용하여 상기 결함을 분리하고 상기 결함의 전파경로를 분석하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
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제 6 항에 있어서,그래프 라쏘를 이용하여 상기 공정 변수를 관련 그룹으로 그룹화하는 그래프 라쏘 처리 단계를 더 포함하는 이상 진단 및 전파경로 분석 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.