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기저필름층;상기 기저필름층의 샘플 장착 면에 전도성 나노섬유 분산 용액으로 형성된 전도성 소재층; 및상기 기저필름층의 마운트 접촉면에 형성되는 마운트 접착층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하고,SEM촬영을 위한 마운트 표면에 부착한 후 상부에 샘플을 장착하여 SEM촬영시 샘플 표면에 쌓이는 전자를 방출하도록 하는 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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제1항에 있어서, 상기 기저 필름층은,20 내지 100 ㎛ 두께의 층인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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제1항에 있어서, 상기 마운트 접착층은,감압 접착제(PSA: pressure sensitive adhesive) 소재로 코팅된 층인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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제1항에 있어서, 상기 전도성 소재층은3 내지 30 ㎛의 두께인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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제1항에 있어서, 상기 전도성 나노섬유 분산 용액은,탄소나노튜브(CNT: carbon nanotube)와 셀룰로오스 나노섬유(CNF: cellulose nano fiber) 소재를 0
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제1항에 있어서, 상기 전도성 나노섬유 분산 용액은,수계 분산 용액인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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제1항에 있어서, 상기 전도성 소재층은,전기전도성이 150 S/cm 이상인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름
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탄소나노튜브(CNT: carbon nanotube)와 셀룰로오스 나노섬유(CNF: cellulose nano fiber) 소재 포함하는 전도성 나노섬유 분산 용액을 제조하는 단계;기저 필름층을 준비하는 단계; 및상기 기저 필름층의 샘플 장착면에 상기 전도성 나노섬유 분산 용액을 도포하여 전도성 소재층을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하고,SEM촬영을 위한 마운트 표면에 부착한 후 상부에 샘플을 장착하여 SEM촬영시 샘플 표면에 쌓이는 전자를 방출하도록 하는 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 전도성 나노섬유 분산 용액은,탄소나노튜브(CNT: carbon nanotube)와 셀룰로오스 나노섬유(CNF: cellulose nano fiber) 소재를 0
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제8항에 있어서, 상기 전도성 나노섬유 분산 용액은,수계 분산 용액인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 기저 필름층을 준비하는 단계에서 상기 기저 필름층은,20 내지 100 ㎛ 두께의 층인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 기저 필름층을 준비하는 단계에서 상기 기저 필름층은 마운트 접촉면에 마운트 접착층이 형성된 것을 특징으로 하고, 상기 마운트 접착층은,감압 접착제(PSA: pressure sensitive adhesive) 소재로 코팅된 층인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 전도성 소재층을 형성하는 단계의 상기 전도성 소재층은3 내지 30 ㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 전도성 소재층을 형성하는 단계의 상기 전도성 소재층은,전기전도성이 150 S/cm 이상인 것을 특징으로 하는 SEM 분석용 전도성 베이스 필름 제조 방법
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