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기공을 포함하는 마이크로미터 크기의 메쉬 형태의 기판을 준비하는 단계;유기 용매 및 실리콘 고분자 전구체를 섞은 용액을 준비하는 단계; 및상기 용액에 상기 기판을 담근 후 챔버에서 반응시키는 단계를 포함하고,상기 반응에 의해 상기 기판에 나노미터 크기의 나노 구조체가 형성되는 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 나노 구조체는 나노 벨크로 구조체, 나노 필라 구조체 또는 나노 돌기 구조체인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판의 경우 기판의 하이드록시기를 활성화하기 위해 산소 플라즈마 처리가 이루어진 기판인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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기공을 포함하는 마이크로미터 크기의 메쉬 형태의 기판을 준비하는 단계;챔버에 상기 기판 및 실리콘 고분자 전구체를 투입하는 단계; 및상기 챔버에서 반응시키는 단계를 포함하고,상기 반응에 의해 상기 기판에 나노미터 크기의 나노 구조체가 형성되는 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 나노 구조체는 나노 벨크로 구조체, 나노 필라 구조체 또는 나노 돌기 구조체인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,상기 기판의 경우 기판의 하이드록시기를 활성화하기 위해 산소 플라즈마 처리가 이루어진 기판인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터의 제조 방법
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7
기공을 포함하는 마이크로미터 크기의 메쉬 형태의 기판; 및상기 기판에 형성된 나노미터 크기의 나노 구조체를 포함하고,상기 나노 구조체는 상기 기판의 표면에 배치되며 기공을 막지 않도록 배치되는 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터
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제 7 항에 있어서,상기 나노 구조체는 나노 벨크로 구조체, 나노 필라 구조체 또는 나노 돌기 구조체인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터
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제 7 항에 있어서,상기 기판의 기공의 크기는 마이크로미터 크기인 것을 특징으로 하는,계층적 구조의 필터
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제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 계층적 구조의 필터를 포함한, 미세먼지 필터
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