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탄소원자가 서로 연결되어 벌집모양의 평면구조를 갖는 그래핀으로 형성된 탄소층;상기 탄소층의 일면에서 수직으로 성장한 형상이고, 변형에 따라서 분극을 형성시키는 하나 이상의 나노 구조물;상기 하나 이상의 나노 구조물의 상부에 배치되는 제 1 전극; 상기 탄소층 타면 상에 배치되는 제 2 전극; 및상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 충진되는 절연체;를 포함하는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 탄소층 타면에 구비되어 회로를 구성하기 위한 기판을 더 포함하는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 나노 구조물은 나노 막대, 나노 바늘, 나노 튜브 및 나노 벽 중 적어도 하나인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 막대, 상기 나노 바늘, 상기 나노 튜브 중 적어도 하나인 경우, 상기 나노 구조물의 수평 직경이 10 nm 내지 100 μm 인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 막대, 상기 나노 바늘, 상기 나노 튜브 중 적어도 하나인 경우, 상기 나노 구조물의 높이가 500nm 내지 100 μm 인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 막대, 상기 나노 바늘, 상기 나노 튜브 중 적어도 하나인 경우, 상기 나노 구조물을 이용하여 누르는 힘 및 쓸림힘의 세기를 감지할 수 있는, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 벽인 경우, 상기 나노 구조물의 폭이 10 nm 내지 100 μm 인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 벽인 경우, 상기 나노 구조물의 길이가 10 nm 내지 100 mm 인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 벽인 경우, 상기 나노 구조물의 높이가 500nm 내지 100 μm 인, 나노 압전소자
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제 3 항에 있어서,상기 나노 구조물이 상기 나노 벽인 경우, 상기 나노 구조물을 이용하여 누르는 힘의 세기 및 쓸림힘의 세기 및 방향을 감지할 수 있는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 나노 구조물은 산화아연 물질을 포함하는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 절연체는 폴리이미드(polyimide), 이산화규소(SiO2), 산화알루미늄(Al2O3) 중 선택되는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 절연체는 상기 탄소층 일면에서부터 상기 나노 구조물의 상부까지 충진되어 있는, 나노 압전소자
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극은 상기 나노 구조물의 상부 및 상기 절연체의 상부에 위치 되어 있는, 나노 압전소자
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